1.一种闭式循环气体混配测控装置,其特征在于:包括气瓶模组(1)、配气控制模组(2)、混合器(3)和测试器(4),所述混合器(3)与所述配气控制模组(2)之间通过单向气路(5)连通,所述气瓶模组(1)包括一个目标气瓶(11)和两个背景气瓶(12),所述目标气瓶(11)和所述背景气瓶(12)分别通过与其相对应的一个目标气路(13)、两个背景气路(14)与所述配气控制模组(2)相连通,所述混合器(3)与所述测试器(4)之间设有循环控制气路(6),所述循环控制气路(6)包括气路循环控制部件(61)和流量控制部件(62),所述气路循环控制部件(61)包括第六两通电磁阀(6111)、第七两通电磁阀(6112)、循环泵(613)、第二两通电磁阀(614)、第一三通电磁阀(615)、第一两通电磁阀(6121)、第四两通电磁阀(6122)、第二三通电磁阀(616)、第五两通电磁阀(618)和第三三通电磁阀(619),所述流量控制部件(62)包括针阀(621)和流速传感器(622)。
2.根据权利要求1所述的一种闭式循环气体混配测控装置,其特征在于:所述混合器(3)和所述测试器(4)结构相同,所述混合器(3)包括混合腔(31)、密封法兰组件(32)和法兰卡箍(33),所述混合腔(31)内设有加热器(34)、风扇(35)、温度传感器(36)和环境传感器(37),所述密封法兰组件(32)上设有航空插头(38),所述航空插头(38)两侧设有真空接头(39)。
3.根据权利要求1所述的一种闭式循环气体混配测控装置,其特征在于:所述配气控制模组(2)与所述气瓶模组(1)一一对应,所述配气控制模组(2)包括气体质量流量控制器模组(21),所述气体质量流量控制器模组(21)包括第一质量流量控制器(211)、第二质量流量控制器(212)和第三质量流量控制器(213),所述第一质量流量控制器(211)和第二质量流量控制器(212)量程都为200sccm,所述第三质量流量控制器(213)的量程为5000sccm,所述气体质量流量控制器模组(21)通过四通接头(22)连接配气管路(23),所述配气管路(23)上设有与所述气体质量流量控制器模组(21)中质量流量控制器数量相对应的配气电磁阀(24),所述配气电磁阀(24)包括第一配气电磁阀(241)、第二配气电磁阀(242)、第三配气电磁阀(243)和第四配气电磁阀(244)。
4.根据权利要求3所述的一种闭式循环气体混配测控装置,其特征在于:所述第四配气电磁阀(244)与所述循环控制气路(6)中的所述第二三通电磁阀(616)的常开端相连通,并直接向所述测试器(4)通入气体。
5.根据权利要求1所述的一种闭式循环气体混配测控装置,其特征在于:所述循环控制气路(6)通过不锈钢气管与所述混合器(3)、所述测试器(4)相连通。
6.根据权利要求1所述的一种闭式循环气体混配测控装置,其特征在于:所述针阀(621)、所述第二两通电磁阀(614)通过三通接头(617)与所述循环泵(613)相连通。