1.一种掩模版表面缺陷检测装置，其特征在于，包括检测壳体(1)和探针(3)，所述检测壳体(1)的一端开设有探针伸出孔(12)，所述检测壳体(1)周壁上设有可视化的可视窗口(13)，所述探针(3)安装在所述检测壳体(1)的端部，且适于穿过所述探针伸出孔(12)，以能够检测掩模版表面缺陷。

2.根据权利要求1所述的掩模版表面缺陷检测装置，其特征在于，还包括推杆(2)，所述推杆(2)滑动连接于所述检测壳体(1)内，所述推杆(2)的底部设有探针安装部(21)，以能够通过推杆(2)收缩所述探针(3)于所述检测壳体(1)内。

3.根据权利要求2所述的掩模版表面缺陷检测装置，其特征在于，所述探针(3)设有多根，多根所述探针(3)呈三角排布在所述探针安装部(21)上。

4.根据权利要求1所述的掩模版表面缺陷检测装置，其特征在于，所述可视窗口(13)为液晶显示屏。

5.根据权利要求2所述的掩模版表面缺陷检测装置，其特征在于，所述检测壳体(1)插入所述推杆(2)的一端开设有开口(11)，所述开口(11)的一端向外周延伸出以形成第一环缘。

6.根据权利要求5所述的掩模版表面缺陷检测装置，其特征在于，所述推杆(2)的露出所述检测壳体(1)的一端向外周延伸以形成第二环缘(23)。