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专利号: 2022230510770
申请人: 南通捷晶半导体技术有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体加工用清洗烘干设备,包括储液箱(1)和固定连接于储液箱(1)顶部的清洗烘干箱(2),其特征在于:所述储液箱(1)与清洗烘干箱(2)相连通,所述储液箱(1)的左右两侧壁均开设有横向滑槽(3),所述储液箱(1)的内部设有滤网框(4),所述滤网框(4)的左右两端分别与两个横向滑槽(3)的内壁滑动连接,所述滤网框(4)的前端延伸至储液箱(1)的前方并与储液箱(1)的正面滑动接触,所述滤网框(4)的内部安装有过滤网(5),所述滤网框(4)的右侧安装有一号卡接组件(6),所述清洗烘干箱(2)的左右两侧壁均固定镶嵌有轴承(7),两个所述轴承(7)的内圈均固定连接有转杆(8),所述清洗烘干箱(2)的内部设有夹持框(9),两个所述转杆(8)相互靠近的一端分别与夹持框(9)的左右两侧面固定连接,所述清洗烘干箱(2)的右侧面固定连接有电机(10),所述电机(10)的输出端延伸至轴承(7)的内圈并与转杆(8)固定连接,所述夹持框(9)的内部安装有二号卡接组件(11);

所述储液箱(1)的内底壁安装有喷头(16),所述储液箱(1)的内底壁固定安装有增压水泵(17),所述增压水泵(17)的输入端固定连通有进水管(18),所述增压水泵(17)的输出端固定连通有软管(19),所述软管(19)远离增压水泵(17)的一端依次贯穿储液箱(1)的左侧面和滑块(14)的上表面并与喷头(16)相连通,所述清洗烘干箱(2)的正面通过一组合页铰接有箱门(20),所述箱门(20)上固定镶嵌有热风机(23),所述清洗烘干箱(2)的背面开设有与热风机(23)位置相对应的条形出风孔(22)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洗烘干设备,其特征在于:所述一号卡接组件(6)包括卡孔(601)和滑管(602),所述卡孔(601)开设于滤网框(4)的右侧面,所述滑管(602)固定镶嵌于储液箱(1)的右侧面,所述滑管(602)的内壁滑动连接有限位板(603),所述限位板(603)的内部固定镶嵌有卡柱(604),所述卡柱(604)的左端贯穿滑管(602)的左侧面并与滑管(602)的左侧面滑动连接,所述卡柱(604)的左端与卡孔(601)的内壁相卡接,所述卡柱(604)的右端贯穿滑管(602)的右侧面并与滑管(602)的右侧面滑动连接,所述卡柱(604)的右端固定连接有拉环,所述限位板(603)的右侧面固定连接有弹簧(605),所述弹簧(605)的右端固定连接于滑管(602)的右侧壁。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洗烘干设备,其特征在于:所述二号卡接组件(11)包括两个电动推杆B(111)和两个滑动槽(112),两个所述电动推杆B(111)分别固定连接于夹持框(9)的左右两侧壁,两个所述滑动槽(112)分别开设于夹持框(9)的内顶壁和夹持框(9)的内底壁,两个所述电动推杆B(111)的输出端均固定连接有弧形夹板(113),每个所述弧形夹板(113)的上下两端分别与两个滑动槽(112)的内壁滑动连接,两个所述弧形夹板(113)相互靠近的一侧面均固定连接有海绵垫(114)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洗烘干设备,其特征在于:所述储液箱(1)的右侧面固定连接有拉手(21)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洗烘干设备,其特征在于:所述清洗烘干箱(2)的上表面开设有条形滑槽(13),所述条形滑槽(13)的内壁滑动连接有滑块(14),所述喷头(16)固定安装在滑块(14)的底面,所述清洗烘干箱(2)的内侧壁固定连接有电动推杆A(15),所述电动推杆A(15)的输出端与滑块(14)的右侧面固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用清洗烘干设备,其特征在于:所述储液箱(1)的正面固定安装有液位计(12),所述液位计(12)与储液箱(1)的内部相连通。