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一种半导体加工用清洗烘干设备
¥2000
专利号:
2022230510770
申请人:
南通捷晶半导体技术有限公司
专利类型:
实用新型
专利状态:
已下证
更新日期:
2026-06-15
缴费截止日期:
暂无
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国家局暂未公布该信息
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