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专利号: 2022226948369
申请人: 新疆晶硕新材料有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种氮化炉控制装置,其特征在于,包括:控制器;

压力传感器,所述压力传感器设置于氮化炉,所述压力传感器通过RS485总线与所述控制器连接;

流量控制器,所述流量控制器设置于与所述氮化炉连通的气体输入管道,所述流量控制器通过RS485总线与所述控制器连接;

温度控制器,所述温度控制器设置于所述氮化炉,所述温度控制器通过RS485总线与所述控制器连接;

其中,所述控制器用于接收所述压力传感器的压力检测信号,向所述流量控制器传递流量控制信号,以及用于接收所述温度控制器的温度检测信号,向所述温度控制器传递温度控制信号。

2.根据权利要求1所述的氮化炉控制装置,其特征在于,所述控制器包括定时模块和算法模块,所述算法模块与所述定时模块、所述压力传感器和所述流量控制器分别连接。

3.根据权利要求1所述的氮化炉控制装置,其特征在于,所述控制器设置有多个RS485总线接口。

4.一种氮化炉控制系统,其特征在于,包括如权利要求1至3中任一项所述的氮化炉控制装置,还包括:输入设定装置,所述输入设定装置通过RS485总线与所述控制器连接。

5.根据权利要求4所述的氮化炉控制系统,其特征在于,还包括:远程主站,所述远程主站通过以太网与所述控制器连接。

6.根据权利要求4所述的氮化炉控制系统,其特征在于,还包括:与所述氮化炉连通的至少三个气体输入管道,所述至少三个气体输入管道用于向所述氮化炉输入氢气、氮气和氩气。

7.根据权利要求4所述的氮化炉控制系统,其特征在于,所述气体输入管道设置有流量调节阀。

8.根据权利要求4所述的氮化炉控制系统,其特征在于,还包括:与所述氮化炉连通的气体输出管道。

9.根据权利要求8所述的氮化炉控制系统,其特征在于,所述气体输出管道设置有排气阀。