1.一种宽频超声内窥探头,其特征在于,包括:圆柱形探头支撑体(1)、环绕设置于圆柱形探头支撑体(1)上部的顶电极柔性电路(2)、环绕设置于圆柱形探头支撑体(1)中间的粘贴了基于电容式微机械超声换能器阵列(3)的柔性基底(4)、环绕设置于圆柱形探头下部的底电极柔性电路(5);顶电极柔性电路(2)包括第一电极(22);底电极柔性电路(5)包括第二电极(52);基于电容式微机械超声换能器阵列(3)的顶电极与顶电极柔性电路(2)上的第一电极(22)连接,基于电容式微机械超声换能器阵列(3)的底电极与底电极柔性电路(5)上的第二电极(52)连接。
2.根据权利要求1所述的一种宽频超声内窥探头,其特征在于,所述基于电容式微机械超声换能器阵列(3)为圆柱形阵列,所述基于电容式微机械超声换能器阵列(3)包括若干个独立的基于电容式微机械超声换能器阵元(31),这若干个独立的基于电容式微机械超声换能器阵元(31)等间距均匀分布于圆柱形阵列上。
3.根据权利要求2所述的一种宽频超声内窥探头,其特征在于,同一个基于电容式微机械超声换能器阵列(3)上的基于电容式微机械超声换能器阵元(31)间距小于或等于0.5个超声波波长。
4.根据权利要求3所述的一种宽频超声内窥探头,其特征在于,基于电容式微机械超声换能器阵列(3)的顶电极具体包括各基于电容式微机械超声换能器阵元(31)的顶电极,顶电极柔性电路(2)上的第一电极(22)个数与基于电容式微机械超声换能器阵元(31)个数相等,各基于电容式微机械超声换能器阵元(31)的顶电极分别与其对应位置的顶电极柔性电路(2)上的第一电极(22)连接。
5.根据权利要求4所述的一种宽频超声内窥探头,其特征在于,基于电容式微机械超声换能器阵列(3)的底电极具体包括各基于电容式微机械超声换能器阵元(31)的底电极,底电极柔性电路(5)上的第二电极(52)个数与基于电容式微机械超声换能器阵元(31)个数相等,各基于电容式微机械超声换能器阵元(31)的底电极分别与其对应位置的底电极柔性电路(5)上的第二电极(52)连接。
6.根据权利要求5所述的一种宽频超声内窥探头,其特征在于,与基于电容式微机械超声换能器阵元(31)底电极相连的底电极柔性电路(5)上的第二电极(52)、与基于电容式微机械超声换能器阵元(31)顶电极相连的顶电极柔性电路(2)上的第一电极(22)分别采用独立的金属线连接到外部控制电路。
7.根据权利要求6所述的一种宽频超声内窥探头,其特征在于,各基于电容式微机械超声换能器阵元(31)包括若干基于电容式微机械超声换能器单元(311),基于电容式微机械超声换能器阵元(31)中的这若干个基于电容式微机械超声换能器单元(311)并联在一起。
8.根据权利要求7所述的一种宽频超声内窥探头,其特征在于,基于电容式微机械超声换能器单元(311)具体为一个电容结构,所述电容结构从下往上依次包括:第一底电极(3111)、二氧化硅绝缘层(3112)、氮化硅绝缘层(3113)、真空腔(3114)、低应力氮化硅薄膜(3115)、第一顶电极(3116)。
9.根据权利要求8所述的一种宽频超声内窥探头,其特征在于,同一个基于电容式微机械超声换能器阵元(31)中的所有基于电容式微机械超声换能器单元(311)的底电极(3111)通过高掺杂的硅基底做的公共底电极连接在一起,由基于电容式微机械超声换能器阵元(31)的第二底电极(314)引出。
10.根据权利要求9所述的一种宽频超声内窥探头,其特征在于,基于电容式微机械超声换能器阵元(31)还包括导线(312),同一个基于电容式微机械超声换能器阵元(31)中的所有基于电容式微机械超声换能器单元(311)的第一顶电极(3116)通过导线(312)连接在一起,由基于电容式微机械超声换能器阵元(31)的第二顶电极(313)引出。