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专利号: 2022224258585
申请人: 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种有机清洗机的去胶剂工艺槽,包括槽体(1),其特征在于:所述槽体(1)的正下方设置有隔离箱(2),所述隔离箱(2)的内部设置有电动推杆(4),所述电动推杆(4)的推杆穿过隔离箱(2)的顶部并与槽体(1)的左下端相连接,所述隔离箱(2)的底部连接有安装块(3),所述槽体(1)的上端两侧连接有支撑架(5),所述支撑架(5)的中间处开设有导向开口(7),所述槽体(1)的中间处开设有凹槽(9),所述槽体(1)的中间处并位于凹槽(9)的前后两侧均设置有挡板(6),两个所述挡板(6)之间设置有刮块(11),所述刮块(11)的顶部连接有连杆(10),所述连杆(10)的上端穿过导向开口(7)与滑块(8)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种有机清洗机的去胶剂工艺槽,其特征在于:所述电动推杆(4)的数量设置为两个,两个所述电动推杆(4)关于槽体(1)呈左右轴对称设置。

3.根据权利要求1所述的一种有机清洗机的去胶剂工艺槽,其特征在于:所述刮块(11)的底部与凹槽(9)的顶部相齐平。

4.根据权利要求1所述的一种有机清洗机的去胶剂工艺槽,其特征在于:所述滑块(8)的底部与支撑架(5)的上表面相接触,但不相连。

5.根据权利要求1所述的一种有机清洗机的去胶剂工艺槽,其特征在于:所述支撑架(5)的形状为倒立的U型结构。

6.根据权利要求1所述的一种有机清洗机的去胶剂工艺槽,其特征在于:两个所述挡板(6)的间距大于凹槽(9)的宽度。