1.一种光刻机的涂胶装置，用于在晶圆上涂布光刻胶，包括基板、主轴、转台、轴承、电机、主动齿轮和从动齿轮，主轴的下端通过轴承转动连接在基板上，主轴的上端与转台固定连接；电机固定设置在基板上，主动齿轮固定连接在电机的输出轴上，从动齿轮固定套接在主轴的中部，主动齿轮与从动齿轮啮合连接；晶圆平放在转台的上表面，光刻胶分布在晶圆的上表面；

其特征在于，所述基板的边缘连接有竖直的立杆，立杆的顶端通过销轴铰接有第一压杆，第一压杆远离销轴的一端固定连接有桨片；立杆上还固定连接有挡板，挡板水平地设置在销轴的下方，挡板的一端朝向所述主轴的中轴线；第一压杆绕销轴转动以使第一压杆的中部搭接在挡板的右端，桨片朝向所述晶圆的一面各点至晶圆的距离相等。

2.根据权利要求1所述的光刻机的涂胶装置，其特征在于，所述桨片朝向所述晶圆的一面与晶圆之间存在间隙。

3.根据权利要求2所述的光刻机的涂胶装置，其特征在于，所述转台的内部设置有负压腔，转台的上表面至负压腔之间设置有若干通孔，转台的下表面设置有与负压腔连接的口部，口部由橡胶片密封。

4.根据权利要求3所述的光刻机的涂胶装置，其特征在于，所述晶圆的边缘上叠加有防溢环，防溢环的高度大于光刻胶的深度。

5.根据权利要求4所述的光刻机的涂胶装置，其特征在于，所述转台的边缘连接有固定柱，固定柱的顶端通过第一铰接件转动连接有第二压杆，第二压杆通过第二铰接件转动连接有第三压杆，第三压杆通过第三铰接件转动连接所述防溢环。

6.根据权利要求5所述的光刻机的涂胶装置，其特征在于，所述第一压杆的中部搭接在挡板的右端时，第一压杆水平地重叠在挡板上。