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专利号: 2022217871546
申请人: 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆玻璃粉擦除加工装置,其特征在于:包括装置支架(1),所述装置支架(1)上设有晶圆夹持组件(2),所述晶圆夹持组件(2)安装在装置支架(1)的内部上方,所述装置支架(1)内还安装有擦除组件(3),所述擦除组件(3)位于晶圆夹持组件(2)的下方,所述装置支架(1)的外部底端安装有粉末回收组件(4),所述粉末回收组件(4)包括回收口(43),所述回收口(43)延伸至装置支架(1)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置,其特征在于:所述晶圆夹持组件(2)包括夹持外壳(21),所述夹持外壳(21)安装在装置支架(1)的内部,所述夹持外壳(21)内转动连接有双向螺杆(23),所述夹持外壳(21)的一侧安装有第一电机(24),所述双向螺杆(23)的一端延伸至夹持外壳(21)的外部并与第一电机(24)的输出轴固定连接,所述双向螺杆(23)上对称螺纹连接有第一滑块(22),所述第一滑块(22)的一端向下延伸至夹持外壳(21)的外部并固定连接有夹持杆(25),所述夹持杆(25)的对立面之间转动连接有吸盘(27),其中一根所述夹持杆(25)的外侧安装有第二电机(28),所述第二电机(28)的输出轴与同侧的吸盘(27)固定连接,另一个通过连接杆与夹持杆(25)转动连接,连接杆上异于吸盘(27)的一端固定连接有限位块(26)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置,其特征在于:所述夹持外壳(21)上开设有可供第一滑块(22)滑动的滑槽。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置,其特征在于:所述擦除组件(3)包括擦除外壳(31),所述擦除外壳(31)内对称转动连接有丝杆(35),所述丝杆(35)的一端延伸至擦除外壳(31)的外部并固定连接有旋钮(36),所述丝杆(35)上螺纹连接有第二滑块(33),所述第二滑块(33)的一端向上延伸至擦除外壳(31)的外部并固定连接有擦除块(32),两个所述擦除块(32)的对立面之间固定连接有擦布(34)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置,其特征在于:所述擦除外壳(31)上开设有可供第二滑块(33)活动的滑槽。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置,其特征在于:所述粉末回收组件(4)还包括回收箱(41),所述回收箱(41)安装在装置支架(1)的外部底端,所述回收口(43)与回收箱(41)相通,所述回收口(43)内安装有抽风机(42)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆玻璃粉擦除加工装置,其特征在于:所述回收口(43)的顶端呈漏斗状。