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专利号: 2022217517104
申请人: 青岛赛尔微电子有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有温度实时监测功能的扩散炉,包括扩散炉本体(1),其特征在于:所述扩散炉本体(1)的顶端设有炉盖(2),炉盖(2)的底端设有延伸至扩散炉本体(1)内部的密封罩(3),扩散炉本体(1)的内顶部开设有台阶槽(4),密封罩(3)上设有位于台阶槽(4)顶端的凸台(5),凸台(5)的内部开设有通槽(14),炉盖(2)上设有泄压机构,扩散炉本体(1)的两侧设有与炉盖(2)连接的升降机构。

2.根据权利要求1所述的一种具有温度实时监测功能的扩散炉,其特征在于:所述扩散炉本体(1)的顶端开设有稳定槽(8),炉盖(2)的底端设有套设于凸台(5)外部并延伸至稳定槽(8)内部的稳定环(7)。

3.根据权利要求1所述的一种具有温度实时监测功能的扩散炉,其特征在于:所述泄压机构包括进气孔、泄压杆(9)、止挡板(10)、泄压槽(11)、衔接弹簧(12)和泄压孔(13),炉盖(2)上穿插泄压杆(9),泄压杆(9)的底端贯穿通槽(14)并延伸至密封罩(3)的外部底端,泄压杆(9)的顶端设有位于炉盖(2)上方的止挡板(10),泄压杆(9)上套设有位于止挡板(10)和炉盖(2)之间的衔接弹簧(12),泄压杆(9)的内部开设有泄压槽(11),泄压杆(9)上等距离开设有泄压孔(13)和进气孔,进气孔位于泄压孔(13)的下方。

4.根据权利要求3所述的一种具有温度实时监测功能的扩散炉,其特征在于:所述泄压孔(13)和进气孔均为圆形结构,且泄压孔(13)和进气孔均设有八个,衔接弹簧(12)为拉伸弹簧。

5.根据权利要求1所述的一种具有温度实时监测功能的扩散炉,其特征在于:所述升降机构包括升降板(15)、轮齿(16)、支撑板(17)、旋转轴一(18)、旋转轴二(19)、齿轮(20)和驱动器,炉盖(2)的顶端对称设有位于扩散炉本体(1)两侧的升降板(15),扩散炉本体(1)的两侧对称设有套设于升降板(15)外部的支撑板(17),其中一个支撑板(17)的顶端安装有电机(25),升降板(15)的内壁两侧均等距离设有轮齿(16),扩散炉本体(1)的两侧均设有旋转轴一(18)和旋转轴二(19),旋转轴二(19)位于旋转轴一(18)的一侧,旋转轴一(18)和旋转轴二(19)上均安装有与轮齿(16)啮合连接的齿轮(20),相邻两个齿轮(20)啮合连接,其中一个旋转轴二(19)的一端与电机(25)输出轴连接,两个旋转轴一(18)之间通过驱动器连接。

6.根据权利要求5所述的一种具有温度实时监测功能的扩散炉,其特征在于:所述驱动器包括传动轴(21)、皮带轮(22)、衔接皮带(23)和固定座(24),扩散炉本体(1)的一侧安装有固定座(24),固定座(24)上转动连接有传动轴(21),传动轴(21)的两端和两个旋转轴一(18)的一端均设有皮带轮(22),相邻两个皮带轮(22)之间通过衔接皮带(23)连接。

7.根据权利要求5所述的一种具有温度实时监测功能的扩散炉,其特征在于:所述支撑板(17)的两侧对称设有滑板(26),升降板(15)的两侧开设有与滑板(26)滑动连接的滑槽(27)。