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专利号: 2022214369312
申请人: 内蒙古工业大学
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2024-12-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置,其特征在于,包括样品载台、转动装置、反射片、支架和二次电子探头;

所述样品载台设置于所述支架顶端,用于固定待观察试样;

所述转动装置设置于所述支架内,所述转动装置的转轴与所述支架连接,且垂直于所述支架的垂向中心线;

所述反射片设置于所述转动装置上,用于将穿过所述待观察试样的透射电子反射至所述二次电子探头;

所述二次电子探头设置于所述支架的侧面,用于采集所述反射片反射的透射电子,并将所述透射电子传输至成像单元成像。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置,其特征在于,所述支架包括架体、样品载台凹槽和滑轨槽;

所述架体的相对两侧均开设有所述滑轨槽,所述转轴的两端分别穿过对应侧的所述滑轨槽,所述滑轨槽沿所述垂向中心线方向延伸;

所述架体的顶端开设有所述样品载台凹槽,所述样品载台凹槽内设置有透射通孔;

所述样品载台设置于所述样品载台凹槽内。

3.根据权利要求2所述的扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置,其特征在于,所述转动装置包括转动台和定位单元;

所述转动台的表面开设有反射片凹槽,所述反射片设置于所述反射片凹槽内;

所述定位单元设置于所述转轴与所述支架的连接处,用于固定所述转动装置与所述支架的相对位置。

4.根据权利要求3所述的扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置,其特征在于,所述定位单元包括齿轮和与所述齿轮匹配的齿条;

所述齿轮与所述转轴的一端固定连接;

所述齿条设置于所述滑轨槽内。

5.根据权利要求4所述的扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置,其特征在于,所述转动装置还包括弹簧;

所述弹簧套设于所述转轴上,且所述弹簧设置于所述支架内。

6.根据权利要求1‑5任一项所述的扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置,其特征在于,所述样品载台包括底片和盖片;

所述底片的第一表面上开设有样品凹槽,所述样品凹槽用于承载所述待观察试样;

所述底片上开设有第一通孔,所述第一通孔设置于所述样品凹槽处,且所述第一通孔与所述样品凹槽相接处的孔径小于所述样品凹槽的直径;

所述盖片设置于所述底片上,所述盖片的第一表面与所述底片相接,用于将所述待观察试样固定于所述样品凹槽内;

所述盖片上开设有第二通孔,所述第二通孔在所述盖片第一表面上的孔径小于所述样品凹槽的直径。

7.根据权利要求6所述的扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置,其特征在于,所述第一通孔在所述底片的第二表面处的孔径大于其在所述底片的第一表面处的孔径。

8.根据权利要求6所述的扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置,其特征在于,所述第二通孔在所述盖片的第二表面处的孔径大于其在所述盖片的第一表面处的孔径。

9.根据权利要求1所述的扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置,其特征在于,还包括套筒;

所述套筒设置于所述样品载台顶端,并与所述支架可拆卸连接,用于固定所述样品载台;

所述套筒上开设有电子束通孔。

10.根据权利要求9所述的扫描电镜中扫描透射明场像的成像装置,其特征在于,所述电子束通孔的入口处的直径小于出口处的直径。