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专利号: 202221041302X
申请人: 宁波正德泰和触控光电有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种真空镀膜镀件除尘装置,包括真空镀膜机的外壳(1),所述外壳(1)内设有基片放置板(9),其特征在于,所述外壳(1)的内侧壁上设有固定板(4),所述固定板(4)上沿其长度方向水平滑动连接有滑动块(2),所述滑动块(2)由平移单元驱动其水平移动,所述滑动块(2)上设有一横臂(10),所述横臂(10)远离滑动块(2)的一端铰接有摆动杆(7),所述摆动杆(7)下端设有吸气管(8),所述吸气管(8)通过管路与外部负压设备贯通,所述吸气管(8)由摆动单元驱动其沿与横臂(10)的铰接处摆动。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜镀件除尘装置,其特征在于,所述平移单元包括水平转动连接在固定板(4)上的丝杆(6),所述滑动块(2)上嵌装有丝母套(11),所述丝母套(11)螺纹套装在丝杆(6)上,所述丝杆(6)由安装在固定板(4)上的电机(12)驱动其转动。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜镀件除尘装置,其特征在于,所述摆动单元包括设于横臂(10)上的安装板(19),所述安装板(19)上水平滑动穿设有滑动杆(3),所述滑动杆(3)一端穿设有短销(18),所述摆动杆(7)上端开设有短销(18)插合的、且能沿摆动杆(7)长度方向自由滑动的腰形孔(17),所述滑动杆(3)的另一端转动连接有滚轮(13),所述固定板(4)上设有垫板(15),所述垫板(15)朝向滑动块(2)的一面沿其长度方向阵列设有多个弧形凸出部(14),所述滚轮(13)在弧形凸出部(14)的外弧面及垫板(15)表面上滚动,所述滑动杆(3)由弹性复位结构驱动其朝远离吸气管(8)的方向移动。

4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜镀件除尘装置,其特征在于,所述弹性复位结构包括套接在滑动杆(3)上的限位环(16),所述限位环(16)与安装板(19)之间设有弹性件。

5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜镀件除尘装置,其特征在于,所述弹性件为套装在滑动杆(3)上的弹簧(20),所述弹簧(20)弹力方向两端分别弹性抵顶限位环(16)及安装板(19)。