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专利号: 202220956418X
申请人: 合肥品炙装备科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-08-30
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多腔体抽真空运行控制系统,包括底座(1),所述底座(1)一侧安装有分子泵(4)、真空泵(5),所述底座(1)的顶端固定连接有多个真空腔体(6),所述真空腔体(6)的一侧底端固定连接有精抽管路(7)、粗抽管路(8),其特征在于,所述真空腔体(6)的顶端设置有锁止机构(2);

所述锁止机构(2)包括限位块(201)、移动套板(202)、密封顶板(203)、固定转块(204)、固定转杆(205)、扭力弹簧(206)、限位滑杆(207)、复位弹簧(208)以及限位滑块(209),所述密封顶板(203)设置在真空腔体(6)的上表面,所述固定转块(204)固定在密封顶板(203)的一端,所述固定转杆(205)固定在固定转块(204)的一侧,所述扭力弹簧(206)设置在密封顶板(203)的一端,所述限位块(201)固定在密封顶板(203)的一端,所述移动套板(202)设置在密封顶板(203)的一端,所述限位滑块(209)固定在移动套板(202)的一端,所述限位滑杆(207)固定在真空腔体(6)的一端,所述复位弹簧(208)设置在限位滑块(209)的一侧;

所述密封顶板(203)的一侧设置有检测机构(3),用于对真空腔体(6)内部的真空程度进行检测。

2.根据权利要求1所述的一种多腔体抽真空运行控制系统,其特征在于,所述检测机构(3)包括检测滑板(301)、移动推板(302)、连接拉杆(303)以及密封滑块(304),所述移动推板(302)设置在密封顶板(203)的一侧,所述连接拉杆(303)固定在移动推板(302)的一侧,所述密封滑块(304)固定在连接拉杆(303)的一侧,所述检测滑板(301)固定在移动推板(302)的顶端。

3.根据权利要求1所述的一种多腔体抽真空运行控制系统,其特征在于,所述精抽管路(7)、粗抽管路(8)的内部设置有电动阀门,所述电动阀门与外界控制器通过导线电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种多腔体抽真空运行控制系统,其特征在于,所述固定转块(204)与真空腔体(6)通过铰链转动连接,所述真空腔体(6)的上表面与密封顶板(203)相接位置处设置有密封胶垫。

5.根据权利要求1所述的一种多腔体抽真空运行控制系统,其特征在于,所述移动套板(202)的一侧上表面呈斜坡状,所述真空腔体(6)与限位滑块(209)相接位置处设置有移动滑槽,所述固定转块(204)与扭力弹簧(206)相接位置处设置有固定扭槽。

6.根据权利要求2所述的一种多腔体抽真空运行控制系统,其特征在于,所述检测滑板(301)的上表面设置有与真空腔体(6)内部真空程度匹配的刻度条,所述密封顶板(203)与密封滑块(304)、连接拉杆(303)相接位置处设置有限位滑槽。

7.根据权利要求2所述的一种多腔体抽真空运行控制系统,其特征在于,所述密封滑块(304)的外壁设置有密封胶垫,所述密封顶板(203)位于密封滑块(304)远离连接拉杆(303)的一侧设置有贯穿密封顶板(203)至真空腔体(6)内部的抽气槽。