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专利号: 2022208304575
申请人: 浙江泰盛克仪表有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种新型压力传感器,其特征在于,包括传感器组件和芯片组件,所述芯片组件设于传感器组件的凹槽内,所述凹槽内设有密封圈,所述传感器组件上设有第一波纹膜片和第二波纹膜片,所述芯片组件上端设有单晶硅片,所述单晶硅片上端设有陶瓷片,所述传感器组件内设有第一导油槽和第二导油槽,所述第一导油槽连通第一波纹膜片与芯片组件正面,所述第二导油槽连通第二波纹膜片与芯片组件背面。

2.根据权利要求1所述的一种新型压力传感器,其特征在于,所述传感器组件上设有正腔波纹面和负腔波纹面,所述第一波纹膜片设置于正腔波纹面内,所述第二波纹膜片设置于负腔波纹面内。

3.根据权利要求1所述的一种新型压力传感器,其特征在于,所述密封圈为氟胶圈。

4.根据权利要求1所述的一种新型压力传感器,其特征在于,所述芯片组件通过激光焊接于传感器组件凹槽上。

5.根据权利要求1所述的一种新型压力传感器,其特征在于,所述单晶硅片粘接于芯片组件上端,所述陶瓷片粘接于单晶硅片上端。