1.一种碳化硅微粉负压收集装置，包括底板(1)、收集桶(2)与设置在收集桶(2)内的滤筒(11)，其特征在于，所述底板(1)上端固定连接有工作台(5)，所述底板(1)上设有用于清理滤筒(11)表面颗粒的清理机构，所述清理机构包括固定连接在底板(1)上端的驱动电机(17)，所述底板(1)上端转动连接有转动轴(16)，所述驱动电机(17)的输出轴固定连接有驱动轴，所述转动轴(16)通过传动机构与驱动轴连接，所述转动轴(16)上端固定连接有转动板(12)，所述转动板(12)上端固定连接有毛刷板(13)，所述工作台(5)上设有抽吸微粉颗粒的抽吸机构。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅微粉负压收集装置，其特征在于，所述抽吸机构包括固定连接在工作台(5)上端的吸气泵(6)，所述吸气泵(6)吸气端连通设有吸气管(7)，所述吸气管(7)上设有收集头(9)。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅微粉负压收集装置，其特征在于，所述底板(1)上端固定连接有竖板(4)，所述竖板(4)侧壁固定连接有多个限制吸气管(7)位置的限位杆(8)，所述竖板(4)侧壁固定连接有磁铁，所述收集头(9)侧壁固定连接有与齿条配合的铁片。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅微粉负压收集装置，其特征在于，所述传动机构包括固定连接在转动轴(16)侧壁的第二齿轮(19)，所述驱动轴侧壁固定连接有与第二齿轮(19)啮合的第一齿轮(18)，所述转动板(12)上端固定连接有刮板(14)。

5.根据权利要求1所述的一种碳化硅微粉负压收集装置，其特征在于，所述收集桶(2)上螺纹连接有桶盖(3)，所述桶盖(3)上端固定连接有把手。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅微粉负压收集装置，其特征在于，所述收集桶(2)内底部设有导料块，所述收集桶(2)上设有与其内部连通的排料管(15)。