利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2022206087899
申请人: 德兴市意发功率半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种氧化炉均匀喷淋装置,其特征在于,包括:混气筒、管接头、第一布气管和第二布气管,所述第一布气管和第二布气管平行设置在混气筒中,所述混气筒的前端设置有第一盖板,所述混气筒尾端设置有第二盖板,所述管接头与第一布气管前端之间设置有贯穿第一盖板的第一供气管,所述管接头与第二布气管尾端之间设置有贯穿第二盖板的第二供气管,所述第一布气管和第二布气管上间隔设置有布气孔,所述混气筒底部间隔设置有至少一排喷淋孔。

2.根据权利要求1所述的氧化炉均匀喷淋装置,其特征在于,所述管接头采用三通管接头。

3.根据权利要求1所述的氧化炉均匀喷淋装置,其特征在于,所述布气孔位于第一布气管和第二布气管的顶部。

4.根据权利要求1所述的氧化炉均匀喷淋装置,其特征在于,所述第一布气管和第二布气管位于第一盖板与第二盖板之间。

5.根据权利要求1所述的氧化炉均匀喷淋装置,其特征在于,所述混气筒截面采用腰孔形结构。

6.根据权利要求1所述的氧化炉均匀喷淋装置,其特征在于,所述第一布气管和第二布气管水平间隔设置在混气筒中。