1.一种高精度渗透标准气体发生装置，包括渗透气体入口（1），其特征在于：所述渗透气体入口（1）一侧设置有三通阀门（2），所述三通阀门（2）一侧设置有加湿流量控制阀（3），加湿三通阀门（4），所述加湿三通阀门（4）一侧设置有加湿装置（5），所述加湿三通阀门（4）一侧连接有稀释气体流量控制器（6），所述三通阀门（2）另一侧设置有渗透载气温控制装置（7），所述渗透载气温控制装置（7）一侧设置有渗透室（8），所述渗透室（8）内侧设置有渗透管（9），所述渗透室（8）一侧设置有混合仓（10），所述渗透室（8）另一侧设置有渗透流量控制器（11），所述混合仓（10）一侧设置有气体出口（12）。

2.根据权利要求1所述的一种高精度渗透标准气体发生装置，其特征在于：所述渗透载气温控制装置（7）内部设置渗透载气温控制仓（701），所述渗透载气温控制仓（701）内侧设置有第一温度感应器（702），所述渗透载气温控制仓（701）数量设置有三组。

3.根据权利要求1所述的一种高精度渗透标准气体发生装置，其特征在于：所述加湿装置（5）一侧设置有进气管道（501），所述进气管道（501）一侧设置有曝气装置（502），所述加湿装置（5）内部顶端设置有出气管道（503），所述出气管道（503）一端设置有过滤网（504），所述加湿装置（5）内部设置有恒温加热水箱（505），所述恒温加热水箱（505）内部设置有第二温度感应器（506），所述恒温加热水箱（505）内部设置有去离子水（507）。

4.根据权利要求1所述的一种高精度渗透标准气体发生装置，其特征在于：所述渗透管（9）内部设置有恒温加热装置（901）。

5.根据权利要求1所述的一种高精度渗透标准气体发生装置，其特征在于：所述渗透室（8）、混合仓（10）、加湿装置（5）的内部均为惰性表面。

6.根据权利要求1所述的一种高精度渗透标准气体发生装置，其特征在于：所述加湿装置（5）与渗透室（8）一侧均设置有加热装置（13），所述加热装置（13）高于加湿装置（5）和渗透室（8）。