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专利号: 202220227121X
申请人: 苏州科技大学
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-08-05
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种含有挥发性有机物的混合气体配气装置,其特征在于,包括液体挥发腔(2)、混气腔(1)以及用气装置(3);

所述混气腔(1)设有挥发气体通道(11)、多个混合配气通道、第一抽真空通道以及用气装置连接通道(14);所述混气腔(1)内设有温度传感器、第一气压传感器和第二气压传感器;所述第一气压传感器的满量程小于所述第二气压传感器的满量程;

所述液体挥发腔(2)包括第一通气口(21)、第二通气口(22)和注液口(23),所述第一通气口(21)通过所述挥发气体通道(11)与所述混气腔(1)连通;

所述用气装置(3)上设有配气口(31)和第二抽真空口(32),所述配气口(31)通过所述用气装置连接通道(14)与所述混气腔(1)连通。

2.根据权利要求1所述的配气装置,其特征在于,所述液体挥发腔(2)上设有加热元件。

3.根据权利要求1所述的配气装置,其特征在于,所述第二通气口(22)与真空泵连接。

4.根据权利要求1所述的配气装置,其特征在于,所述液体挥发腔(2)还设有液位观察口(24),所述液位观察口(24)通过玻璃密封。

5.根据权利要求1所述的配气装置,其特征在于,多个混合配气通道包括背景气体通道(12)和/或目标气体通道(13),所述背景气体通道(12)用于与背景气源连通,所述目标气体通道(13)用于与目标气源连通。

6.根据权利要求1所述的配气装置,其特征在于,

所述挥发气体通道(11)上设有针阀,用于控制所述挥发气体向混气腔内通气的速率。

7.根据权利要求6所述的配气装置,其特征在于,

所述液体挥发腔(2)为多个,多个所述液体挥发腔(2)通过不同的针阀控制各个所述液体挥发腔(2)与所述挥发气体向混气腔内通气的速率。

8.根据权利要求6所述的配气装置,其特征在于,

还包括控制器,所述第一气压传感器、所述第二气压传感器、所述温度传感器和所述针阀均与控制器电连接。

9.根据权利要求1所述的配气装置,其特征在于,

所述液体挥发腔(2)还设有气压测量接口(26)。

10.根据权利要求1所述的配气装置,其特征在于,

所述混气腔(1)内还设有湿度计。