1.一种具有快速换气功能的配气系统,其特征在于,包括配气组件和测试腔(6),所述配气组件包括目标气瓶(1)、背景气瓶(2)和混合腔(3),所述目标气瓶(1)用于存储目标气体,所述背景气瓶(2)用于存储背景气体,所述目标气瓶(1)通过目标气路(4)和所述混合腔(3)连通,所述背景气瓶(2)通过背景气路(5)和所述混合腔(3)连通,所述目标气路(4)上和背景气路(5)上均设有针阀(11),所述测试腔(6)设于所述混合腔(3)上方,所述测试腔(6)的体积小于所述混合腔(3)体积,所述测试腔(6)和所述混合腔(3)连通,所述测试腔(6)和所述混合腔(3)的连接处设有插板阀(8),在初始状态下所述测试腔(6)内充有背景气体。
2.根据权利要求1所述的一种具有快速换气功能的配气系统,其特征在于,所述测试腔(6)的设有上游阀门(14)和下游阀门(15),所述测试腔(6)通过上游阀门(14)和所述背景气瓶(2)连通,所述下游阀门(15)用于排出所述测试腔(6)中的背景气体。
3.根据权利要求1所述的一种具有快速换气功能的配气系统,其特征在于,还包括控制模块,所述控制模块用于通过控制所述目标气路(4)上和背景气路上(5)上的针阀(11)在所述混合腔(3)完成目标气体和背景气体的混气后控制所述插板阀(8)拉出以使所述混合腔(3)中混合气体自由扩散至所述测试腔(6)中。
4.根据权利要求3所述的一种具有快速换气功能的配气系统,其特征在于,所述混合腔(3)内设有风扇,所述风扇用于当所述插板阀(8)拉出时开启以加速混合腔中气体的扩散。
5.根据权利要求1所述的一种具有快速换气功能的配气系统,其特征在于,所述混合腔(3)和所述测试腔(6)内均设有气压计(9),所述气压计(9)用于监控对应腔体中的气体压强。
6.根据权利要求1所述的一种具有快速换气功能的配气系统,其特征在于,所述目标气路(4)和所述背景气路(5)上均设有质量流量控制器(10)。
7.根据权利要求1所述的一种具有快速换气功能的配气系统,其特征在于,所述测试腔(6)内设有气体传感器,所述测试腔(6)用于通过形成目标浓度的混合气体来检测气体传感器。
8.根据权利要求1所述的一种具有快速换气功能的配气系统,其特征在于,所述配气组件还包括湿度控制腔(12),所述湿度控制腔(12)用于存储水,所述湿度控制腔(12)通过水蒸气路和所述混合腔(3)连通,所述水蒸气路上设有针阀(11)。
9.根据权利要求8所述的一种具有快速换气功能的配气系统,其特征在于,所述湿度控制腔(12)外部设有第一加热装置,所述第一加热装置用于对所述湿度控制腔(12)进行加热。
10.根据权利要求9所述的一种具有快速换气功能的配气系统,其特征在于,所述混合腔(3)和所述测试腔(6)内均设有湿度传感器(13),所述湿度传感器(13)用于监测对应腔体中气体的湿度。