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专利号: 2022113434624
申请人: 天霖(张家港)电子科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机,包括有电动转盘(1)、收胶环(2)、第一驱动组件(3)、环形风管(4)和第二驱动组件(5);电动转盘(1)转动部上固接有收胶环(2);收胶环(2)内部开有第二导胶槽(2003);第二导胶槽(2003)底部设置有楔形垫片(2001),楔形垫片(2001)上表面为左低右高;收胶环(2)左部连通有排胶口(2002);收胶环(2)上环形阵列式安装有三个第一驱动组件(3);三个第一驱动组件(3)输入端均与第二导胶槽(2003)连通;

收胶环(2)上表面通过连接柱固接有环形风管(4);环形风管(4)内部开有第一导风槽(4001);环形风管(4)上表面环形阵列式安装有三个第二驱动组件(5);三个第二驱动组件(5)输入端均与第一导风槽(4001)连通;其特征是,还包括有匀胶系统、检测系统和循环系统;电动转盘(1)连接有用于将硅片上多余胶料去除的匀胶系统;匀胶系统与环形风管(4)连接;电动转盘(1)连接有用于对匀胶系统进行水平度检测的检测系统;检测系统与匀胶系统连接;收胶环(2)连接有用于回收多余胶料的循环系统;循环系统与匀胶系统连接。

2.按照权利要求1所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机,其特征是,匀胶系统由动力单元和甩胶单元组成;电动转盘(1)连接有动力单元;环形风管(4)上表面连接有用于将胶料甩平的甩胶单元;甩胶单元与动力单元连接;动力单元包括有安装座(101)、第一动力组件(102)、传动杆(103)和第一齿轮(104);电动转盘(1)固定部上固接有安装座(101);

安装座(101)上部安装有第一动力组件(102);第一动力组件(102)输出轴固接有传动杆(103);传动杆(103)与安装座(101)转动连接;传动杆(103)上部固接有第一齿轮(104);第一齿轮(104)与甩胶单元连接。

3.按照权利要求2所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机,其特征是,甩胶单元包括有支架(201)、转轴(202)、抽风罩(203)、多孔板(204)和第二齿轮(205);环形风管(4)上表面环形阵列式固接有六个支架(201);六个支架(201)上各转动连接有一个转轴(202),转轴(202)为空心管;六个转轴(202)下部均与第一导风槽(4001)连通;六个转轴(202)上部各连通有一个抽风罩(203);每个抽风罩(203)上部均设有一个倒钩部(20301);每个抽风罩(203)上部均开有一个环形槽(20302);六个抽风罩(203)上部各安装有多孔板(204);多孔板(204)与检测系统连接;六个转轴(202)外表面下部各固接有一个第二齿轮(205);六个第二齿轮(205)均与第一齿轮(104)啮合。

4.按照权利要求3所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机,其特征是,检测系统由基准片(6)和平整检测单元组成;电动转盘(1)右部连接有平整检测单元;平整检测单元连接有基准片(6);基准片(6)与多孔板(204)接触;平整检测单元包括有支板(301)、安装架(302)、电动滑轨(303)、电动滑块(304)、支撑梁(305)、横杆(306)、弹性件(307)、弧形板(308)、定位杆(309)、第一电动执行器(3010)、衔接板(3011)、第一滑杆(3012)、连杆(3013)、第二动力组件(3014)、平整检测仪(3015)、第一连接板(3016)和U形叉(3017);电动转盘(1)右部固接有支板(301);支板(301)上表面固接有安装架(302);安装架(302)上表面安装有电动滑轨(303);电动滑轨(303)上滑动连接有电动滑块(304);电动滑块(304)上固接有支撑梁(305);支撑梁(305)中部固接有横杆(306);横杆(306)左部固接有弹性件(307);弹性件(307)左部固接有弧形板(308);弧形板(308)右侧前部和右侧后部各固接有一个定位杆(309);两个定位杆(309)均与横杆(306)滑动连接;支撑梁(305)上部安装有第一电动执行器(3010);第一电动执行器(3010)伸缩部固接有衔接板(3011);衔接板(3011)左部固接有两个第一滑杆(3012);两个第一滑杆(3012)均与支撑梁(305)滑动连接;两个第一滑杆(3012)下部共同固接有连杆(3013);连杆(3013)上表面安装有第二动力组件(3014);第二动力组件(3014)输出轴固接有平整检测仪(3015);连杆(3013)右部固接有第一连接板(3016);第一连接板(3016)下部固接有U形叉(3017);基准片(6)放置在U形叉(3017)上;基准片(6)位于平整检测仪(3015)的下方。

5.按照权利要求4所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机,其特征是,循环系统由防护单元、刮胶单元和收集单元组成;收胶环(2)连接有用于挡住甩出的胶料的防护单元;

防护单元连接有用于将甩出的胶料刮动的刮胶单元;防护单元连接有用于收集多余胶料的收集单元;收集单元与刮胶单元连接;收集单元与收胶环(2)连接;防护单元包括有第二电动执行器(401)、环形板(402)和防护框(403);收胶环(2)外表面对称安装有两个第二电动执行器(401);两个第二电动执行器(401)伸缩部共同固接有环形板(402);环形板(402)上环形阵列式固接有六个防护框(403);防护框(403)与刮胶单元连接;防护框(403)与收集单元连接;六个防护框(403)上部各设有一个防溅槽(40301)。

6.按照权利要求5所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机,其特征是,刮胶单元包括有第三电动执行器(501)、连接杆(502)、第二滑杆(503)和环形刮条(504);环形板(402)上环形阵列有六对第三电动执行器(501);每个第三电动执行器(501)伸缩部各固接有一个连接杆(502);每个连接杆(502)远离第三电动执行器(501)的一侧各固接有一个第二滑杆(503);每个第二滑杆(503)均与防护框(403)滑动连接;每两个第二滑杆(503)下部共同固接有一个环形刮条(504);每个环形刮条(504)外表面各与一个防护框(403)滑动连接;环形刮条(504)与收集单元连接。

7.按照权利要求6所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机,其特征是,收集单元包括有限位环(601)、导胶管(602)、第二连接板(603)、第三动力组件(604)、第三齿轮(605)、内齿环(606)、抽胶管(607)、环形管(608)和凸条(609);每个防护框(403)内各固接有一个限位环(601);每个限位环(601)下部各连通有一个导胶管(602);每个导胶管(602)下部均与收胶环(2)连通;每个防护框(403)内各固接有一个第二连接板(603);每个第二连接板(603)各与一个限位环(601)同轴;每个第二连接板(603)上各安装有一个第三动力组件(604);每个第三动力组件(604)输出轴各固接有一个第三齿轮(605);每个限位环(601)上各转动连接有一个内齿环(606);每个内齿环(606)上部各与一个第二连接板(603)转动连接;每个内齿环(606)各与一个第三齿轮(605)啮合;限位环(601)中部掏空设置有楔形面(60101);每个限位环(601)内各固接有一个抽胶管(607);每个抽胶管(607)朝向楔形面(60101)的一侧开有若干个通孔;每个抽胶管(607)各与一个内齿环(606)滑动连接;每个内齿环(606)各固接有一个环形管(608);每个环形管(608)各位于一个抽胶管(607)内;环形管(608)上环形阵列式固接有若干个凸条(609)。

8.按照权利要求3所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机,其特征是,抽风罩(203)上部外边缘为流线型,且环形槽(20302)开在倒钩部(20301)内侧。

9.按照权利要求5所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机,其特征是,防溅槽(40301)向防护框(403)中心方向凸出,且防溅槽(40301)开口朝下。

10.按照权利要求7所述的一种具有平整涂胶功能的涂胶显影机,其特征是,凸条(609)为硅胶材料,凸条(609)上开有十字切口且凸条(609)上外环面设置有若干环形凹槽。