1.一种晶片加工用快速烘干装置,其特征在于,包括:
烘干箱体(1),烘干箱体(1)上设置有控制装置(2),控制装置(2)与烘干箱体(1)固定连接,烘干箱体(1)上壁开设有进料口(3),烘干箱体(1)内设置有烘干框(4),烘干框(4)与烘干箱体(1)固定连接,烘干框(4)侧壁内侧开设有滑动槽(5);
支固机构,支固机构设置于烘干框(4)上,支固机构与控制装置(2)电连接,支固机构用于支撑固定待烘干的晶片;
调节机构,调节机构设置于烘干框(4)内,调节机构与烘干框(4)固定连接,调节机构与控制装置(2)电连接,调节机构用于根据晶片尺寸大小调节烘干范围;
烘干机构,烘干机构设置于烘干框(4)内,烘干机构与控制装置(2)电连接,烘干机构与调节机构配合,烘干机构用于烘干待烘干的晶片。
2.根据权利要求1所述的一种晶片加工用快速烘干装置,其特征在于,支固机构包括支撑组件和固定组件,支撑组件设置于烘干框(4)上,支撑组件与控制装置(2)电连接,固定组件设置于烘干框(4)内,固定组件与控制装置(2)电连接,固定组件用于对待烘干的晶片进行固定。
3.根据权利要求2所述的一种晶片加工用快速烘干装置,其特征在于,支撑组件包括第一电机(6)、驱动轴(7)、凸轮辊(8)、支撑板(9)、支撑块(10)、滑动块(11)、纵杆(12)和晃动弹簧(13),第一电机(6)设置于烘干框(4)上,第一电机(6)与控制装置(2)电连接,第一电机(6)的输出端与驱动轴(7)固定连接,驱动轴(7)烘干框(4)转动连接,凸轮辊(8)设置于驱动轴(7)上,凸轮辊(8)与驱动轴(7)固定连接,支撑板(9)靠近滑动槽(5)的端部设置有滑动块(11),滑动块(11)与支撑板(9)固定连接,凸轮辊(8)与支撑板(9)配合,滑动块(11)与滑动槽(5)滑动连接,纵杆(12)设置于滑动槽(5)内,纵杆(12)的端部与滑动槽(5)固定连接,滑动块(11)与滑动槽(5)相对的表面设有晃动弹簧(13),且晃动弹簧(13)套接与纵杆(12)上,晃动弹簧(13)的端部分别与滑动槽(5)和滑动块(11)滑动连接,支撑板(9)表面开设有多个贯通的通风槽(14),且多个通风槽(14)均匀分布,相邻通风槽(14)间设置有支撑块(10),支撑块(10)与支撑板(9)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种晶片加工用快速烘干装置,其特征在于,固定组件包括电动推杆(15)和夹板(16),电动推杆(15)设置于支撑板(9)靠近进料口(3)的表面,电动推杆(15)与控制装置(2)电连接,电动推杆(15)与支撑板(9)固定连接,夹板(16)与电动推杆(15)固定连接。
5.根据权利要求4所述的一种晶片加工用快速烘干装置,其特征在于,调节机构包括连接组件和调节组件,连接组件设置于烘干框(4)内,连接组件与烘干框(4)固定连接,调节组件设置于烘干框(4)内,调节组件与控制装置(2)电连接,调节组件与连接组件配合。
6.根据权利要求5所述的一种晶片加工用快速烘干装置,其特征在于,连接组件包括横杆(17)和固定筒(18),固定筒(18)设置于烘干框(4)设有滑动槽(5)的内壁表面,固定筒(18)与烘干框(4)固定连接,烘干框(4)相对侧表面上的固定筒(18)间设有横杆(17),横杆(17)与固定筒(18)与固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种晶片加工用快速烘干装置,其特征在于,调节组件包括调节电机(19)、调节螺杆(20)、固定板(21)、螺纹块(22)、连接板(23)和调节套(24),调节电机(19)设置于烘干框(4)内,调节电机(19)与控制装置(2)电连接,调节电机(19)的输出端与调节螺杆(20)固定连接,调节螺杆(20)与固定板(21)转动连接,固定板(21)与烘干箱体(1)固定连接,螺纹块(22)与调节螺杆(20)螺纹连接,靠近滑动槽(5)一侧的螺纹块(22)间设置有连接板(23),且连接板(23)的端部与螺纹块(22)固定连接,调节套(24)设置于螺纹块(22)靠近横杆(17)的表面,调节套(24)与螺纹块(22)固定连接,调节套(24)与横杆(17)滑动连接。
8.根据权利要求7所述的一种晶片加工用快速烘干装置,其特征在于,烘干机构包括转动组件和烘干组件,转动组件设置于烘干框(4)内,转动组件与控制装置(2)电连接,转动组件与烘干箱体(1)固定连接,烘干组件设置于横杆(17)上,烘干组件与转动组件转动连接,烘干组件与横杆(17)滑动连接。
9.根据权利要求8所述的一种晶片加工用快速烘干装置,其特征在于,转动组件包括电机框(25)、第二电机(26)、转动块(27)、摆杆(28)、复位弹簧(29)和L形板(30),电机框(25)设置于烘干箱体(1)设置有固定板(21)的表面,电机框(25)与烘干箱体(1)固定连接,第二电机(26)设置于电机框(25)内,第二电机(26)与控制装置(2)电连接,第二电机(26)的输出端与转动块(27)固定连接,摆杆(28)与转动块(27)滑动连接,摆杆(28)的一端与L形板(30)固定连接,复位弹簧(29)套接与摆杆(28)上,且复位弹簧(29)位于L形板(30)和转动块(27)之间。
10.根据权利要求9所述的一种晶片加工用快速烘干装置,其特征在于,烘干组件包括滑动套(31)、连接杆(32)、基座(33)和热风机(34),滑动套(31)设置于横杆(17)上,滑动套(31)与横杆(17)滑动连接,滑动套(31)间设置有连接杆(32),且连接杆(32)的端部与滑动套(31)固定连接,基座(33)设置于连接杆(32)上,基座(33)与连接杆(32)滑动连接,基座(33)与L形板(30)转动连接,热风机(34)设置于基座(33)靠近支撑板(9)的表面,热风机(34)与基座(33)可拆卸式固定连接,热风机(34)与控制装置(2)电连接。