1.一种平行度测量装置，其特征在于，该装置包括数据获取模块、数据分析模块和标定台；

数据获取模块，包括电涡流位移传感器探头、延伸电缆和传感器安装框架；电涡流位移传感器探头两两成对，若干对电涡流位移传感器探头相背设置于传感器安装框架上，用于采集数据；

数据分析模块，包括电涡流位移传感器前置器、转换器和上位机；延伸电缆连接电涡流位移传感器探头与电涡流位移传感器前置器；转换器完成电涡流位移传感器前置器与上位机的数据通信；上位机用于处理和分析电涡流位移传感器探头采集的数据，以获取待测两平面的平行度；

标定台，包括相互平行的两个被测表面，两个被测表面之间的间距已知；标定台用于对平行度测量装置进行标定，以获取电涡流位移传感器探头对之间的安装距离并传输给上位机。

2.根据权利要求1所述的平行度测量装置，其特征在于，传感器安装框架包括上安装板、下安装板、支撑柱和承重柱；上安装板和下安装板上设有相对的探头安装孔，用于安装成对的电涡流位移传感器探头；支撑柱位于相对的探头安装孔两侧且连接上安装板和下安装板，用于支撑上安装板和下安装板，承重柱位于下安装板四角，每个承重柱还设有一个螺栓定位孔，用于测量时固定传感器安装框架。

3.根据权利要求2所述的平行度测量装置，其特征在于，每个电涡流位移传感器探头均通过两个螺母和两个垫圈夹紧固定在探头安装孔处。

4.根据权利要求2所述的平行度测量装置，其特征在于，传感器安装框架是通过3d打印非金属材料而形成的一体式框架结构。

5.根据权利要求1所述的平行度测量装置，其特征在于，数据分析模块还包括数据分析模块安装框架，用于安装固定电涡流位移传感器前置器、转换器和上位机。

6.根据权利要求1所述的平行度测量装置，其特征在于，标定台包括两个高精度金属版面和四个全纹螺栓；通过全纹螺栓上的螺母夹紧固定金属版面来调整标定台两个金属版面之间的间距。

7.一种平行度测量装置的标定方法，用于对权利要求1至6中任意一项所述的平行度测量装置进行标定，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、将标定台放置在较为平整的地方；

步骤S2、将数据获取模块放入标定台内；

步骤S3、获取每对电涡流位移传感器探头到标定台两个被测表面的距离h1和h2；

步骤S4、标定台两个被测表面之间的间距为H，则每对电涡流位移传感器探头间的安装距离，即标定数据为h3＝H‑h1‑h2。

8.根据权利要求7所述的平行度测量装置的标定方法，其特征在于，测量时，将数据获取模块放入待测两平面间，获取每对电涡流位移传感器探头到两个待测表面的距离，将其与标定数据相加即可得到待测两平面的间距。