1.一种基于电涡流测量的非平行对称金属平面间隙测量方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:S1、测得一组传感器探头到被测非平行对称金属表面的距离,即h1和h2;所述一组传感器为两个相背的电涡流位移传感器;
S2、获取该组传感器探头间的距离h3,计算得出该组传感器所处测点的非平行对称金属平面间隙H=h1+h2+h3;
S3、获取多个测点的非平行对称金属平面间隙;
S4、基于所有测点的非平行对称金属平面间隙数据,通过最小二乘法求得拟合平面方程z=ax+by+c;具体为:设测点所处位置为X和Y,测点的非平行对称金属平面间隙为Z;
由平面方程AX+BY+CZ+D=0,C≠0得:令 则原平面方程转化为:z=ax+by+c;
2
根据最小二乘法,构建误差函数S=∑(axi+byi+c‑zi) ,要使得S的值最小即各点到此平面的距离最小,应满足: 即: 其中,i为测点编号;
整理得
将其改为矩阵方程得:
将各测点的X、Y、Z值带入矩阵方程,求得方程系数a、b、c,得到平面方程z=ax+by+c;
S5、根据拟合平面方程拟合出整个非平行对称金属平面间隙。
2.根据权利要求1所述的基于电涡流测量的非平行对称金属平面间隙测量方法,其特征在于,测点数量不少于三个且测点位置分布均匀。