1.一种柔性三维电极的制备方法,其特征在于,具体是:
步骤(1)在加工容器中加入柔性聚合物溶液以及对应的固化剂,静置至完全固化,得到柔性基底;
步骤(2)将图形化模具置于柔性基底表面,图形化模具内加入柔性聚合物溶液和对应的固化剂,以及磁性颗粒,放置到磁场环境静置2~6小时,固化后形成平面为设计图形的三维结构层,所述的三维结构层具有磁控生长的微柱形貌;所述的磁性颗粒是粒径为50nm~
10μm的铁粉或Fe2O3颗粒,与柔性聚合物溶液的质量比为1:1~20:1;
步骤(1)和(2)采用相同的柔性聚合物溶液,为聚二甲基硅氧烷、聚甲基丙烯酸甲酯或聚对苯二甲酸乙二醇酯;
步骤(3)将加工容器以及图形化模具整体从磁场环境中取出,静置至完全固化,得到柔性聚合物结构;
步骤(4)利用磁共溅射的方法,在具有三维结构层的柔性聚合物结构的一面沉积导电金属材料,形成金属导电层;
步骤(5)取下图形化模具,金属导电层只保留覆盖三维结构层的部分,得到柔性三维电极。
2.如权利要求1所述的一种柔性三维电极的制备方法,其特征在于:步骤(4)中所述的导电金属材料为金、银或铜。