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专利号: 2022107391034
申请人: 江苏科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-03-02
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种纳米孪晶铜膜转变为单晶铜膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:(1)采用酸溶液对纳米孪晶铜膜进行预处理;

(2)将预处理后的纳米孪晶铜膜沿厚度方向夹持于冷夹板和热夹板中进行热处理,冷夹板的温度为-20℃至30℃,热夹板的温度为200-300℃;

(3)保持步骤(2),待热处理结束后,即得单晶铜膜。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中的纳米孪晶铜膜的厚度为10-50μm。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中的纳米孪晶铜膜为沿厚度方向具有(111)择优晶体取向。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中的纳米孪晶铜膜的形状为圆柱形、线形、矩形或不规则形。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中的纳米孪晶铜膜为单独存在或附着在基板上。

6.根据权利要求5所述的制备方法,其特征在于,所述基板为铜或硅。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(1)中的酸溶液为柠檬酸水溶液。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(2)中冷夹板和热夹板之间的温度梯度为1×103-6×104℃/cm。

9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中的单晶铜膜为沿厚度取向为(100)晶面取向。

10.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述步骤(3)中,步骤(2)的保持时间为10-60min。