1.一种三维微摩擦力和粘附力的测量方法，其特征在于，具体包括如下步骤：

S1、悬臂X方向的弹性系数标定：

将单轴微力传感器(17)通过固定支架(16)固定在载物台(13)上，通过改变单轴微力传感器(17)的固定方向，使其后期能够与探针(15)在X方向上形成接触，从而实现在X方向上的微力进行测量；再通过控制宏动位移台(2)中的XY向宏动位移台在X方向上进行位移的粗调，并通过相机(6)观察探针(15)与单轴微力传感器(17)之间的接触情况，当探针(15)与单轴微力传感器(17)之间充分接近之后，再控制微动位移台(4)中的XY向微动位移台对单轴微力传感器(17)与探针(15)之间的相对位置进行细微调整，并通过微动位移台(4)中的XY向微动位移台控制单轴微力传感器(17)与探针(15)在X方向上进行力学接触行为，并记录计算单轴微力传感器(17)的输出值，以及在单轴微力传感器(17)与探针(15)接触后的XY向微动位移台在X向上的位移；通过计算单轴微力传感器(17)的输出值与XY向微动位移台在X向上的位移的比值，即可得到悬臂(11)在X向的弹性系数kX；

S2、悬臂Y方向的弹性系数标定：

原理同S1相同，通过改变单轴微力传感器(17)的固定方向，使其后期能够与探针(15)在Y方向上形成接触；通过控制XY向宏动位移台在Y方向上进行位移的粗调，再控制XY向微动位移台对单轴微力传感器(17)与探针(15)之间的相对位置进行细微调整，记录单轴微力传感器(17)的输出值，以及在单轴微力传感器(17)与探针(15)接触后的XY向微动位移台在Y向上的位移；通过计算单轴微力传感器(17)的输出值与XY向微动位移台在Y向上的位移的比值，即可得到悬臂(11)在Y向的弹性系数kY；

S3、悬臂Z方向的弹性系数标定：

原理同S1相同，通过改变单轴微力传感器(17)的固定方向，使其后期能够与探针(15)在Z方向上形成接触；通过控制Z向宏动位移台在Z方向上进行位移的粗调，再控制Z向微动位移台对单轴微力传感器(17)与探针(15)之间的相对位置进行细微调整，记录单轴微力传感器(17)的输出值，以及在单轴微力传感器(17)与探针(15)接触后的Z向微动位移台在Z向上的位移；通过计算单轴微力传感器(17)的输出值与Z向微动位移台在Z向上的位移的比值，即可得到悬臂(11)在Z向的弹性系数kZ；

S4、被测样品在Z方向的摩擦力测量：

将单轴微力传感器(17)及固定支架(16)从载物台(13)上去除，再将被测样品(14)置于载物台(13)上；通过宏动位移台(2)对被测样品(14)在X、Y轴方向上进行粗调，观察被测样品(14)上设置的微孔位置，当被测样品(14)微孔位置位于探针(15)正下方时，控制宏动位移台(2)对被测样品(14)的Z向方向上位置进行粗调；当探针(15)的微球进入微孔时，控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行X或Y向上的微调，当四象限光电探测器(8)所接收的光路信号发生变化时，探针(15)与被测样品(14)微孔壁发生接触，继续控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行X或Y向上的微调，此过程所产生的触发力为摩擦过程中的法向力；停止X或Y向的位移，记录微动位移台(4)此时的Z向上的坐标Z0，再控制微动位移台(4)使被测样品(14)进行Z向位移，此时四象限光电探测器(8)的输出会产生变化，持续控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行Z向摩擦过程，直到四象限光电探测器(8)的输出不再变化，记录此时微动位移台(4)的Z向上的坐标Z1，此时相对位移量Z1－Z0即为Z向摩擦过程中在摩擦力的作用下悬臂(11)发生的形变，悬臂(11)相对位移量Z1－Z0与悬臂(11)Z向上的弹性系数kz的乘积即为所测Z方向上的摩擦力大小；

S5、被测样品在X或Y方向的摩擦力测量：

通过宏动位移台(2)对被测样品(14)的X、Y向方向上的位置进行粗调，使用相机(6)观察被测样品(14)与探针(15)的相互位置，当被测样品(14)位置位于探针(15)正下方时，控制宏动位移台(2)对被测样品(14)在Z向方向上的位置进行粗调，当探针(15)即将接触被测样品(14)表面时，控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行Z向上的微调；当四象限光电探测器(8)所接收的光路信号发生变化时，探针(15)与被测样品(14)表面发生接触，继续控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行Z向上的微调，此过程所产生的触发力为摩擦过程中的法向力；停止Z向的位移，记录微动位移台(4)此时的X或Y向上的坐标X0或Y0，再控制微动位移台(4)使被测样品(14)进行X或Y向位移，此时四象限光电探测器(8)的输出会产生变化，持续控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行X或Y向摩擦过程，直到四象限光电探测器(8)的输出不再变化，记录此时微动位移台(4)的X或Y向上的坐标X1或Y1，此时X或Y向上的相对位移量X1‑X0或Y1‑Y0，即为X或Y向摩擦过程中在摩擦力的作用下悬臂(11)发生的形变，悬臂(11)形变量X1‑X0或Y1‑Y0与悬臂(11)在X或Y向上的对应的弹性系数kx或ky的乘积，即为所测X或Y方向上的摩擦力大小；

S6、被测样品在Z方向的粘附力测量：

首先记录四象限光电探测器(8)的输出值V0，再通过宏动位移台(2)对被测样品(14)的X、Y向位置进行粗调，使用相机(6)观察被测样品(14)与探针(15)相互位置，当被测样品(14)位置位于探针(15)正下方时，控制宏动位移台(2)对被测样品(14)的Z向位置进行粗调，当探针(15)即将接触被测样品(14)表面时，控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行Z向上的微调；当四象限光电探测器(8)所接收的光路信号发生变化时，探针(15)与被测样品(14)表面发生接触，继续控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行Z向上的微调，此过程所产生的触发力为黏附过程中的载荷；停止Z向的位移，记录微动位移台(4)此时的Z向上的坐标Z0，再控制微动位移台(4)使被测样品(14)沿Z向方向上原路返回，此过程由于黏附力的作用会导致四象限光电探测器(8)的输出产生变化，持续控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行Z向粘附过程，直到四象限光电探测器(8)的输出回到V0，记录此时微动位移台(4)的Z向上的坐标Z1，此时相对位移量Z1‑Z0即为Z向粘附过程中在粘附力的作用下的悬臂(11)发生的形变大小；悬臂(11)形变量Z1‑Z0与悬臂(11)Z向上的弹性系数kz的乘积即为所测Z方向上的粘附力大小；

S7、被测样品在X或Y方向的粘附力测量：

首先记录四象限光电探测器(8)的输出V0，再通过宏动位移台(2)对被测样品(14)的X、Y轴位置进行粗调，使用相机(6)观察被测样品(14)的微孔位置，当被测样品(14)微孔位置位于探针(15)正下方时，控制宏动位移台(2)对被测样品(14)的Z向位置进行粗调；当探针(15)的微球进入被测样品(14)的微孔时，控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行X或Y向上的微调，当四象限光电探测器(8)所接收的光路信号发生变化时，探针(15)与被测样品(14)微孔壁发生接触，继续控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行X或Y向上的微调，此过程所产生的触发力为粘附过程中的载荷；停止X或Y向的位移，记录微动位移台(4)此时的X或Y向坐标X0或Y0，再控制微动位移台(4)使被测样品(14)沿X或Y向方向上原路返回，此过程由于粘附力的作用会导致四象限光电探测器(8)的输出产生变化；持续控制微动位移台(4)对被测样品(14)进行X或Y向粘附过程，直到四象限光电探测器(8)的输出回到V0，记录此时微动位移台(4)的X或Y向上的坐标X1或Y1，此时相对位移量X1－X0或Y1‑Y0即为X或Y向粘附过程中在粘附力的作用下悬臂(11)发生的形变；悬臂(11)形变量X1‑X0或Y1‑Y0与悬臂(11)在X或Y向上的弹性系数kx或ky的乘积，即为所测X或Y向方向上的粘附力大小。

2.一种三维微摩擦力和粘附力的测量装置，应用于权利要求1所述的三维微摩擦力和粘附力的测量方法中，其特征在于，包括减震基座(1)、宏动位移台(2)、支架I(3)、微动位移台(4)、支架II(12)，所述宏动位移台(2)设置在减震基座(1)上，所述微动位移台(4)安装在宏动位移台(2)上，所述宏动位移台(2)、微动位移台(4)能够在XYZ三维方向上分别进行位移的粗调和微调；所述支架I(3)、支架II(12)分别设置在宏动位移台(2)两侧的减震基座(1)上，所述支架I(3)的内侧设置有固定相机(6)和四象限光电探测器(8)，所述四象限光电探测器(8)设置在固定相机(6)的上方；所述支架II(12)的内侧设置有悬臂(11)，所述悬臂(11)前端下方设置有探针(15)，所述微动位移台(4)上设置有载物台(13)，所述载物台(13)设置在探针(15)的下方，所述载物台(13)上设置有单轴微力传感器(17)；所述悬臂(11)上方的支架II(12)内侧设置有激光器(9)，所述激光器(9)发射的激光经悬臂(11)反弹后能够被四象限光电探测器(8)接收。

3.根据权利要求2所述一种三维微摩擦力和粘附力的测量装置，其特征在于，所述宏动位移台(2)由XY向宏动位移台和Z向宏动位移台叠加组成，所述微动位移台(4)由XY向微动位移台和Z向微动位移台叠加组成，所述XY向宏动位移台、Z向宏动位移台、XY向微动位移台、Z向微动位移台均为用于纳米定位的具有压电陶瓷系统的纳米定位器，能够给载物台(13)提供在X方向、Y方向、Z方向上的位移的调节。

4.根据权利要求2所述一种三维微摩擦力和粘附力的测量装置，其特征在于，所述固定相机(6)通过可伸缩杆I(5)安装在支架I(3)上，且所述固定相机(6)正对着载物台(13)方向设置；所述四象限光电探测器(8)通过支杆(7)安装在支架I(3)上内侧。

5.根据权利要求2所述一种三维微摩擦力和粘附力的测量装置，其特征在于，所述激光器(9)通过可伸缩杆II(10)安装在支架II(12)上。

6.根据权利要求2所述一种三维微摩擦力和粘附力的测量装置，其特征在于，所述单轴微力传感器(17)通过固定支架(16)安装在载物台(13)上。

7.根据权利要求2所述一种三维微摩擦力和粘附力的测量装置，其特征在于，所述探针(15)由测杆以及安装在测杆下端的球形测球组成，所述球形测球的直径大于测杆的直径。