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专利号: 202210708011X
申请人: 许杰富
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-11-18
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种稀土金属旋转靶材制备设备,其结构包括,气体排出端(1)、温度平衡轴(2)、机体(3)、活动门(4)、开合块(5)其特征在于:所述气体排出端(1)与温度平衡轴(2)为一体,所述机体(3)与温度平衡轴(2)相通,所述活动门(4)安装于机体(3)的前端,所述开合块(5)与活动门(4)进行活动连接,所述机体(3)通过温度平衡轴(2)与气体排出端(1)相通;

所述机体(3)设有烧结空间(31)、材料固定体(32)、加热块(33),所述烧结空间(31)中心与材料固定体(32)进行固定连接,所述加热块(33)与材料固定体(32)相通,所述材料固定体(32)与活动门(4)相通,所述材料固定体(32)上方与气体排出端(1)相通,所述材料固定体(32)与平衡轴(2)相通;

所述材料固定体(32)设有限位层(321)、中心块(322)、调节轴(323)、板壁(324)、通孔(325),所述限位层(321)与中心块(322)为一体,所述调节轴(323)安装于中心块(322)的外侧并与限位层(321)进行活动连接,所述板壁(324)与调节轴(323)相通,所述通孔(325)嵌入于板壁(324)之中并与中心块(322)相通,所述中心块(322)嵌入于烧结空间(31)的中心部位,所述中心块(322)与加热块(33)相通;

所述中心块(322)后端设有伸缩座(a1)、伸缩杆(a2)、连接轮(a3)、喷水管(a4)、引水块(a5),所述伸缩座(a1)与伸缩杆(a2)进行活动连接,所述连接轮(a3)嵌入于伸缩杆(a2)之中,所述喷水管(a4)安装于连接轮(a3)的上下方,所述引水块(a5)与喷水管(a4)进行活动连接,所述喷水管(a4)贯穿于通孔(325)与板壁(324)相通;

所述喷水管(a4)前端设有安装块(a41)、实心环(a42)、安装槽(a43)、卡合轮(a44)、雾化网(a45),所述安装块(a41)与实心环(a42)为一体,所述安装槽(a43)嵌入于实心环(a42)之中,所述卡合轮(a44)固定于安装槽(a43)的内侧,所述雾化网(a45)嵌入于卡合轮(a44)之中,所述卡合轮(a44)与引水块(a5)相通,所述卡合轮(a44)安装于连接轮(a3)的上下方。

2.根据权利要求1所述的一种稀土金属旋转靶材制备设备,其特征在于:所述卡合轮(a44)设有翻转体(b1)、定位块(b2)、穿透层(b3),所述翻转体(b1)与定位块(b2)进行活动连接,所述穿透层(b3)与定位块(b2)相通,所述定位块(b2)与雾化网(a45)进行定位连接,所述翻转体(b1)与安装槽(a43)进行间隙配合。

3.根据权利要求1所述的一种稀土金属旋转靶材制备设备,其特征在于:所述通孔(325)设有缓冲层(c1)、喷水孔(c2)、排出端(c3),所述缓冲层(c1)与喷水孔(c2)进行活动连接,所述排出端(c3)嵌入于喷水孔(c2)的下端并相通,所述排出端(c3)与板壁(324)相通。

4.根据权利要求3所述的一种稀土金属旋转靶材制备设备,其特征在于:所述排出端(c3)设有块体(c31)、导流块(c32)、通道(c33),所述块体(c31)与导流块(c32)进行固定连接,所述通道(c33)与导流块(c32)相通,所述块体(c31)固定于喷水孔(c2)的下方两侧。

5.根据权利要求4所述的一种稀土金属旋转靶材制备设备,其特征在于:所述块体(c31)设有外层(d1)、定位环(d2)、螺栓(d3),所述外层(d1)与定位环(d2)为同一圆心,所述螺栓(d3)贯穿于定位环(d2)的中心部位,所述定位环(d2)与导流块(c32)进行固定连接。