1.一种基于超声振动的钛合金微型件电解抛光装置，包括：支撑模块、电源模块、超声振动模块、液控模块和总控模块；

所述支撑模块包括保温箱体，支撑框体和X、Y、Z型三轴滑台模组，保温箱体长＝20～

30mm，宽＝5～20mm，高＝10～20mm，保温箱体内设有4～20个量程为‑50～50℃的引线式温度传感器，保温箱体固定于支撑框体下部，三轴滑台模组固定于支撑框体中部；

所述电源模块包括电压量程0～60V、电流量程0～30A可调稳压直流电源，电源模块固定于支撑框体上部；

所述超声振动模块包括频率为20～50kHz的超声波发生器、换能器、变幅杆和振动块，振动块由紧固螺纹、半锥形圆台和试样夹组成，半锥形圆台的上底面半径R＝20～40mm、下底面半径r＝10～20mm、高h＝20～40mm，半锥形圆台顶部设有紧固螺纹，侧边设有试样夹，振动块材料为不锈钢，振动块通过紧固螺纹固定于变幅杆末端，换能器末端固定于Z轴滑台上；

所述液控模块包括容量为2～6L的液氮储箱、液氮阀，容量为2～6L的无水乙醇储箱、无水乙醇阀、微型吹风机，液控模块固定于支撑框体中部；

所述总控模块包括超声振动控制程序、液控程序、电源控制程序和温控程序，总控模块固定于支撑框体顶部。

2.基于权利要求1的一种基于超声振动的钛合金微型件电解抛光装置的抛光方法，其特征在于，包含以下步骤：步骤一：倒入电解液，电解液配置方法为：当零件最薄壁厚度≤100μm时，电解液成分为高氯酸：甲醇＝40～50：800～900；当零件最薄壁大于100μm时，电解液成分为高氯酸：甲醇＝50～100：900～1000，然后将零件安装于电解装置的阳极上，阴极材料为不锈钢板；

步骤二：根据零件最薄壁厚度确定初始电解参数，初始电解参数的确定方法为：当最薄壁厚度≤100μm时，电压为5～15V，温度为‑30～‑20℃，超声振动频率为30～50kHz，振幅为

40～80μm，时间为10～25s；当最薄壁厚度大于100μm时，电压为10～30V，温度为‑30～‑10℃，超声振动频率为20～30kHz，振幅为10～40μm，时间为25～50s；

步骤三：开启液氮阀向电解液中加入液氮，待电解液温度到达预设温度，开启电解抛光制样，随后电解装置根据电解液温度变化连续调整液氮流量，当零件最薄壁厚度≤100μm时，温控精度±1℃，液氮的流量为5～8ml/s，流量增速为1～2ml/℃；当零件最薄壁厚度大于100μm时，温控精度±2℃，液氮的流量为8～15ml/s，流量增速为2～4ml/℃；

步骤四：到达设定时间，试样自动提起，液氮阀关闭，无水乙醇阀开启，无水乙醇的流量为10～20ml/s，压力为0.3～3Mpa，快速直冲洗并吹干试样。

3.基于权利要求2的一种基于超声振动的钛合金微型件电解抛光装置的抛光方法，其特征在于：所述的步骤三中，液氮加入点取在试样1～2cm范围内。