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专利号: 2022104958546
申请人: 金陵科技学院
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种具有AlInGaN插入层的紫外发光二极管,其特征在于,包括自下而上依次设置的衬底(101)、AlN成核层(102)、AlN缓冲层(103)、非掺杂AlGaN缓冲层(104)、n型AlGaN层(105)、AlxGa1‑xN/AlyGa1‑yN多量子阱有源区(106)、AlpInqGa1‑p‑qN插入层(107)和p型AlGaN层(108),所述p型AlGaN层(108)上引出p型欧姆电极(109),所述n型AlGaN层(105)上引出n型欧姆电极(110),所述AlpInqGa1‑p‑qN插入层(107)插在AlxGa1‑xN/AlyGa1‑yN多量子阱有源区(106)最后一层AlyGa1‑yN量子垒的中间。

2.如权利要求1所述的一种具有AlInGaN插入层的紫外发光二极管,其特征在于:所述衬底(101)为极性、半极性或非极性取向的蓝宝石、碳化硅、硅、氧化锌、氮化镓或氮化铝。

3.如权利要求1所述的一种具有AlInGaN插入层的紫外发光二极管,其特征在于:所述AlN成核层(102)的厚度为15‑50 nm,AlN缓冲层(103)的厚度为50‑500 nm,非掺杂AlGaN缓冲层(104)的厚度为500‑2000 nm,n型AlGaN层(105)的厚度为200‑5000 nm,AlxGa1‑xN/AlyGa1‑yN多量子阱有源区(106)的AlxGa1‑xN量子阱的阱宽为1‑10 nm,AlyGa1‑yN量子垒的垒厚为4‑30 nm,周期数为3‑50,p型AlGaN层(108)的厚度为50‑500 nm,其中Al组分关系满足x

4.如权利要求1所述的一种具有AlInGaN插入层的紫外发光二极管,其特征在于:所述AlpInqGa1‑p‑qN插入层(107)的厚度为1‑10nm。

5.如权利要求1所述的一种具有AlInGaN插入层的紫外发光二极管,其特征在于:所述AlpInqGa1‑p‑qN插入层(107)的禁带宽度大于AlyGa1‑yN量子垒的禁带宽度。

6.如权利要求1所述的一种具有AlInGaN插入层的紫外发光二极管,其特征在于:所述AlpInqGa1‑p‑qN插入层(107)的晶格常数和AlyGa1‑yN量子垒的晶格常数相同。

7.如权利要求1所述的一种具有AlInGaN插入层的紫外发光二极管,其特征在于:所述p型欧姆电极(109)和n型欧姆电极(110)的材料为Ni、Al、Au或Ti中的一种金属或由以上多种金属构成的合金材料。