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专利号: 2022104813994
申请人: 浙江理工大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种多参量调谐的全息打印光刻系统,其特征在于,包括:照明子系统,用于发出光线;照明子系统连接有显示与成像子系统,用于形成光斑;显示与成像子系统连接有运动子系统和控制子系统,用于调整参量;

显示与成像子系统包括参考光形成光路和物光形成光路,参考光形成光路至少包括反射镜和扫描振镜,反射镜连接扫描振镜,扫描振镜连接有扫描透镜,扫描透镜经合束棱镜连接有傅立叶变换透镜,参考光经反射镜、扫描振镜和合束棱镜,在傅里叶变换透镜的输出面上形成参考光斑;物光形成光路至少包括合束棱镜,合束棱镜连接有空间光调制器,空间光调制器连接有傅里叶变换透镜,物光经合束棱镜和空间光调制器,进入傅里叶变换透镜,在傅里叶变换透镜的输出面上形成物光光斑,参考光形成光路和物光形成光路通过所述合束棱镜形成一套双通道共轴傅立叶变换光路,参考光斑和物光光斑重合;

运动子系统包括:驱动扫描振镜振动的电机与平移台,平移台,与显示与成像子系统连接,用于改变成像位置;

控制子系统协调控制照明子系统的开关、空间光调制器的刷新、扫描振镜和平移台的运动,使得各个部件按照设定的时序运行;通过综合调制扫描振镜(θ,Φ)两个维度、平移台(x,y)两个维度和空间光调制器的刷新实现任意参考光模式;

显示与成像子系统还包括微缩成像光路,微缩成像光路包括自动聚焦光路和实时检测光路。

2.根据权利要求1所述的一种多参量调谐的全息打印光刻系统,其特征在于,运动子系统包括:电机,与参考光路连接,用于发出振动。

3.根据权利要求2所述的一种多参量调谐的全息打印光刻系统,其特征在于,控制子系统分别与照明子系统、显示与成像子系统和运动子系统连接,包括开关,连接于照明子系统,用于控制光源;控制模块,与显示与成像子系统连接,用于输出图像信息;控制器,与运动子系统连接,用于控制运动子系统移动。

4.根据权利要求3所述的一种多参量调谐的全息打印光刻系统,其特征在于,微缩成像光路包括微缩透镜组,微缩透镜组与参考光形成光路、物光形成光路及运动子系统连接。

5.根据权利要求1或4所述的一种多参量调谐的全息打印光刻系统,其特征在于,自动聚焦光路包括自动聚焦系统,自动聚焦系统与控制子系统连接,自动聚焦系统连接有二向色镜,二向色镜与参考光形成光路及物光形成光路连接。

6.根据权利要求5所述的一种多参量调谐的全息打印光刻系统,其特征在于,实时检测光路包括实时检测系统,实时检测系统与控制子系统及自动聚焦系统连接。