1.一种包括微结构的柔性温度传感器,其特征在于,包括从下到上依次设置的设有锥状微结构的基片(1)、第一柔性层(2)、导电层(3)、用于覆盖所述导电层(3)的第二柔性层(6),所述锥状微结构(4)一体成型于所述基片,所述锥状微结构(4)的高度大于所述第一柔性层(2)与所述第二柔性层(6)之和,所述导电层(3)包括温度传感器(31)、用于输出温度信号的输出组件(32),所述输出组件包括温度信号接口(33)、一端与所述温度信号接口(33)连接另一端与所述温度传感器(31)连接的温度信号输出导线(34)。
2.根据权利要求1所述的一种包括微结构的柔性温度传感器,其特征在于,所述锥状微结构(4)至少包括4个,所述锥状微结构(4)分布于所述温度传感器(31)周围。
3.根据权利要求2所述的一种包括微结构的柔性温度传感器,其特征在于,所述锥状微结构(4)的高度相等。
4.根据权利要求3所述的一种包括微结构的柔性温度传感器,其特征在于,所述锥状微结构(4)的高度为80‑200μm。
5.根据权利要求1所述的一种包括微结构的柔性温度传感器,其特征在于,所述温度信号输出导线(34)为蛇形导线。
6.根据权利要求1所述的包括微结构的柔性温度传感器,其特征在于,所述设有锥状微结构的基片(1)的制备方法如下:S1.在硅片上旋涂光刻胶,利用用于微结构定位的第一掩膜版作光刻模板进行光刻蚀,得到一体成型的设有微结构的基片;
S2.将所述设有微结构的基片置于HNA溶液中,进行各向同性腐蚀,尖端化所述微结构,即得设有锥状微结构的基片(1)。
7.一种如权利要求1‑5任一项所述的包括微结构的柔性温度传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:K1.在硅片上旋涂光刻胶,利用用于微结构定位的第一掩膜版作光刻模板进行光刻蚀,得到一体成型的设有微结构的基片;
K2.将所述设有微结构的基片置于HNA溶液中,进行各向同性腐蚀,尖端化所述微结构,即得设有锥状微结构的基片(1);
K3. 在所述设有锥状微结构的基片(1)表面旋涂柔性衬底PI作为第一柔性层(2);
K4. 将第一金属层溅射于所述第一柔性层(2)的外表面后导入设有目标图形的第二掩膜版中,利用光刻蚀,将所述第二掩膜版上的目标图形转移至所述第一金属层,即在所述第一柔性层(2)外表面得到导电层(3);
K5.在所述导电层(3)外表面旋涂柔性衬底PI作为第二柔性层(6);
K6.将第二金属层溅射于所述第二柔性层(6)的外表面后导入设有目标图形的第二掩膜版,利用光刻蚀,将所述第二掩膜版的目标图形转移至所述第二金属层,即在所述第二柔性层(6)外表面得到掩膜层;
K7.刻蚀第一柔性层(2)及第二柔性层(6)中未被所述掩膜层遮盖的部分;
K8.除去所述掩膜层,即得所述包括微结构的柔性温度传感器。
8.根据权利要求7所述的一种包括微结构的柔性温度传感器的制备方法,其特征在于,所述第二掩膜版的目标图形与温度传感器(31)及用于输出温度信号的输出组件(32)呈现的图形对应。
9.根据权利要求7所述的一种包括微结构的柔性温度传感器的制备方法,其特征在于,所述第一金属层为Ti/Au层。
10.根据权利要求7所述的一种包括微结构的柔性温度传感器的制备方法,其特征在于,所述第二金属层为Cu层。