1.一种低畸变堆栈式扫描探针显微头,其特征在于,包括:X堆栈(1)、Y堆栈(2)、探针模块(3)以及薄片(4),所述X堆栈(1)、Y堆栈(2)之间通过薄片(4)粘接,所述探针模块(3)的上端连接Y堆栈(2)的下端;
所述X堆栈(1)包括位于堆栈上部的蓝宝石底座(101)、位于堆栈下部3件以上的X压电片(102),最上方的X压电片(102)的上端面与蓝宝石底座(101)的下端面完全固定粘接,所述X堆栈(1)的各X压电片(102)之间的间隙层设置有沿着Y方向排布的金属片(5)和细丝(6),所述金属片(5)位于间隙层X方向的一侧,所述同一间隙层的细丝(6)位于X方向的另一侧,各间隙层的金属片(5)和细丝(6)呈“之”字形交错排布;
所述Y堆栈(2)包括位于堆栈下部的蓝宝石片(201)、位于堆栈上部的3件以上的Y压电片(202),最下方的Y压电片(202)的下端面与蓝宝石片(201)的上端面完全固定粘接,所述Y堆栈(2)的各Y压电片(202)之间的间隙层设置有沿着X方向排布的金属片(5)和细丝(6),所述金属片(5)位于间隙层Y方向的一侧,所述同一间隙层的细丝(6)位于Y方向的另一侧,各间隙层的金属片(5)和细丝(6)呈“之”字形交错排布;
各所述金属片(5)与该金属片(5)上下方的压电片固定连接;
各所述细丝(6)与该细丝(6)上下方的压电片滚动连接。
2.根据权利要求1所述的一种低畸变堆栈式扫描探针显微头,其特征在于,所述X堆栈(1)中,所述薄片(4)的上端面与位于最下方的X压电片(102)的下端面与完全固定粘接。
3.根据权利要求2所述的一种低畸变堆栈式扫描探针显微头,其特征在于,所述Y堆栈(2)中,所述薄片(4)的下端面与位于最上方的Y压电片(202)的上端面与完全固定粘接。
4.根据权利要求3所述的一种低畸变堆栈式扫描探针显微头,其特征在于,所述探针模块(3)包括探针管(301)和探针针体(302),所述探针管(301)与蓝宝石片(201)的下端面中心位置处固定连接,所述探针针体(302)安装于探针管(301)中。
5.根据权利要求4所述的一种低畸变堆栈式扫描探针显微头,其特征在于,所述蓝宝石底座(101)、X压电片(102)、薄片(4)、Y压电片(202)、蓝宝石片(201)均为矩形。
6.根据权利要求5所述的一种低畸变堆栈式扫描探针显微头,其特征在于,所述蓝宝石底座(101)、X压电片(102)、薄片(4)、Y压电片(202)、蓝宝石片(201)均为相同规格的尺寸的正方形。
7.根据权利要求5所述的一种低畸变堆栈式扫描探针显微头,其特征在于,所述蓝宝石底座(101)、X压电片(102)、Y压电片(202)、蓝宝石片(201)为相同尺寸的长方形,所述X压电片(102)、Y压电片(202)垂直设置。
8.一种扫描头,其特征在于,包括权利要求6或7所述的一种低畸变堆栈式扫描探针显微头(10),还包括管状导轨(7)、蓝宝石盖(8)、蓝宝石矩形管(9),所述蓝宝石盖(8)安装于蓝宝石矩形管(9)的一端,所述显微头(10)设置于蓝宝石矩形管(9)的内部,且与蓝宝石盖(8)固定安装,所述蓝宝石矩形管(9)的外管壁安装有弹簧片(11),所述弹簧片(11)弹性连接管状导轨(7)。