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专利号: 2022100634069
申请人: 宋宗超
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种芯片生产制造用冷却装置,包括固定架(1),其特征在于:所述固定架(1)的侧面开设有通孔,且通孔的内壁通过轴承转动连接有传动轮(2),所述传动轮(2)的外表面传动连接有传动带(3),所述固定架(1)的内壁固定连接有冷却箱(4),所述冷却箱(4)的侧面设置有制冷机构,冷却箱(4)的内壁嵌设有注气机构,所述固定架(1)的上表面固定连接有冂型支架(5),所述冂型支架(5)的内顶壁固定连接有吸风罩(6),所述吸风罩(6)的上表面开设有出风孔,且出风孔的内壁固定连接有负压风机(7),所述固定架(1)的下表面设置有支撑机构。

2.根据权利要求1所述的一种芯片生产制造用冷却装置,其特征在于:所述传动轮(2)的数量为两个,所述固定架(1)的侧面固定连接有伺服电机(8),所述伺服电机(8)的输出端与后端传动轮(2)的侧面固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种芯片生产制造用冷却装置,其特征在于:所述冷却箱(4)的内部设置有冷却液,所述制冷机构包括设置在冷却箱(4)侧面的半导体制冷片(9),所述半导体制冷片(9)的侧面设置有导热块(10),所述导热块(10)的侧面设置有风扇(11),所述固定架(1)的侧面开设有与半导体制冷片(9)适配的缺口。

4.根据权利要求1所述的一种芯片生产制造用冷却装置,其特征在于:所述冷却箱(4)的正面固定连接有转动电机(12),所述转动电机(12)的输出端固定连接有搅拌轴(13),所述搅拌轴(13)的外表面设置有搅拌叶片(14)。

5.根据权利要求1所述的一种芯片生产制造用冷却装置,其特征在于:所述支撑机构包括固定连接在固定架(1)的下表面四角处的支撑管(15),所述支撑管(15)的内壁滑动连接有方柱(16),所述方柱(16)的底端固定连接有接触块(17),所述支撑管(15)的内顶壁通过轴承转动连接有丝杆(18),所述支撑管(15)的外表面开设有连接孔,所述连接孔的内壁通过轴承转动连接有旋杆(19)。

6.根据权利要求5所述的一种芯片生产制造用冷却装置,其特征在于:所述旋杆(19)的一端和丝杆(18)的外表面均固定连接有相互啮合的锥齿轮(20),所述方柱(16)的顶端开设有与丝杆(18)适配的螺纹孔。

7.根据权利要求1所述的一种芯片生产制造用冷却装置,其特征在于:所述注气机构包括嵌设在冷却箱(4)内壁的柱塞筒(22),所述柱塞筒(22)的内壁设置有压缩弹簧(23),所述柱塞筒(22)的内壁滑动连接有柱塞(24),所述柱塞(24)连接杆的下端延伸至冷却箱(4)的外部且端部为斜面,所述柱塞筒(22)的侧面设置有进气管(25),所述柱塞筒(22)的顶部设置有排气弯管(26)。

8.根据权利要求7所述的一种芯片生产制造用冷却装置,其特征在于:所述传动带(3)的内壁等距设置有若干个挡板(21),所述挡板(21)与柱塞(24)连接杆的下端相适配。

9.根据权利要求1所述的一种芯片生产制造用冷却装置,其特征在于:所述传动带(3)的表面等距嵌设有若干个放置框(27),所述放置框(27)内壁的四角处均设置有垫块(28)。