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专利号: 2022100335832
申请人: 三峡大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2024-10-29
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种透明超疏水玻璃的制备方法,其特征在于,该方法包括下述步骤:

(1)将玻璃基片放入氢氟酸溶液中进行腐蚀,氢氟酸溶液的体积浓度为3%‑7%,腐蚀温度为30℃‑50℃,腐蚀时间为5‑15分钟;

(2)将步骤(1)中所腐蚀的玻璃基片清洗干净后放入氢氧化钠溶液中进行腐蚀,氢氧化钠溶液质量浓度为3%‑5%,腐蚀温度为30℃‑50℃,腐蚀时间为5‑15分钟;

(3)将步骤(2)中所腐蚀的玻璃清洗干燥后,采用等离子体增强化学气相沉积技术PECVD依次以高纯甲烷、氢气与硅烷混合气为工作气体在其表面制备碳化硅薄膜,PECVD制备碳化硅薄膜参数为:射频功率100~150W,射频频率13.56MHz,基片温度200~250℃,腔体压强80~120Pa,通入高纯甲烷气体流量30~50sccm,通入氢气与硅烷混合气的气体流量15~25sccm,薄膜制备时间50~75分钟;

氢气与硅烷混合气中,氢气与硅烷的体积比为8‑15:85‑92;

(4)采用等离子体增强化学气相沉积技术PECVD依次以高纯甲烷、高纯四氟化碳、高纯氧气为工作气体对步骤(3)中所制备的碳化硅薄膜实施等离子体处理,得到透明超疏水玻璃,PECVD等离子体处理参数为:射频功率300~400W,射频频率13.56MHz,基片温度200~

250℃,腔体压强50~70Pa,通入高纯甲烷气体流量30~40sccm,通入高纯四氟化碳气体流量10~20sccm,通入高纯氧气气体流量5~10sccm,等离子体刻蚀时间10~20分钟。

2.根据权利要求1所述的透明超疏水玻璃的制备方法,其特征在于,步骤(3)中高纯甲烷的纯度为99.999%以上。

3.根据权利要求1所述的透明超疏水玻璃的制备方法,其特征在于,步骤(4)中高纯甲烷、高纯四氟化碳和高纯氧气的纯度均为99.999%以上。