1.一种悬臂形圆二色性微纳结构,其特征在于,包括衬底层和微纳结构层,所述微纳结构层置于所述衬底层上,所述微纳结构层包括周期排布的手性单元,所述手性单元包括介质层和贵金属膜,所述贵金属膜置于所述介质层上,所述介质层和所述贵金属膜中设有孔洞,所述手性单元还包括第一悬臂和第二悬臂,所述第一悬臂和所述第二悬臂粘附在所述孔洞的部分侧壁上,所述第一悬臂和所述第二悬臂的材料与所述贵金属膜的材料相同,所述第一悬臂和所述第二悬臂的高度不同。
2.如权利要求1所述的悬臂形圆二色性微纳结构,其特征在于:所述衬底层为透明材料。
3.如权利要求1所述的悬臂形圆二色性微纳结构,其特征在于:所述衬底层为导电玻璃。
4.如权利要求1所述的悬臂形圆二色性微纳结构,其特征在于:所述贵金属膜的材料为金或银。
5.如权利要求1所述的悬臂形圆二色性微纳结构,其特征在于:所述孔洞为圆形。
6.如权利要求1所述的悬臂形圆二色性微纳结构,其特征在于:所述第一悬臂和所述第二悬臂的对称轴方向均沿所述手性单元的周期方向。
7.如权利要求1‑6任一项所述的悬臂形圆二色性微纳结构的制备方法,其特征在于:所述制备方法包括如下步骤:
步骤1、准备所述衬底层:根据实际需要,用玻璃刀将导电玻璃切割成边长为1cm的小方块,注意保持每个小方块边角的完整性;接下来是对所述衬底层的清洗工作,先分别用丙酮和酒精对其超声清洗15分钟,再用去离子水超声清洗3分钟,最后用氮气将清洗好的所述衬底层吹干以备待用;
步骤2、甩胶:打开匀胶机电源,设定好时间60s和转速4000rpm,用万用表测出衬底层的正反面,将其正面朝上吸附于匀胶机样品盘上;冰箱里取出PMMA(AR‑P 672.03),吸管吸取PMMA一滴,滴于所述衬底层中心,打开匀胶机开关进行甩胶;
步骤3、加热:打开加热板电源,温度设定至150℃,匀胶机中取出甩好PMMA的衬底层置于加热板上加热,其目的主要是对衬底层上PMMA的烘干,3min后取出衬底层置于样品盒;
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步骤4、电子束曝光:将Spot设为3,HV设为15KV,曝光剂量设为100μC/cm ,调整像散,做好校准工作,选定曝光位置,开始对预先设计好的图形进行曝光;
步骤5、显影和定影:曝光完的样品放入显影液,停留60s;接着放入定影液,停留30s,之后取出置于样品盒;
步骤6、镀膜:镀膜前,衬底层贴于电子束蒸发镀膜仪中的样品盘后对其抽真空,当腔内‑6
压强达到4×10 torr方可开始两次镀膜;两次镀膜的倾斜角分别是第一倾斜角度和第二倾斜角度,所述第一倾斜角度和所述第二倾斜角度不相同;两次镀膜的方向角差值大于60度。