1.一种靶材烧结用防蒸发溅射装置，包括管道(1)，其特征在于：所述管道(1)右端固定连接有喷射管(2)，所述管道(1)侧壁设有冷却机构，所述冷却机构包括安装板(3)，所述安装板(3)上侧壁固定连接有固定框(5)，所述安装板(3)上侧壁固定连接有循环泵(6)，所述安装板(3)侧壁嵌设有冷凝管(4)，所述循环泵(6)的出水端通过出水管(7)与冷凝管(4)一端连通，所述安装板(3)上侧壁固定连接有水箱(9)，所述固定框(5)上侧壁固定连接有马达(11)，所述马达(11)的输出轴固定连接有转杆(12)，所述转杆(12)侧壁固定连接有多个搅拌叶(13)，所述冷凝管(4)的另一端通过导水管(8)与水箱(9)侧壁连通，所述水箱(9)侧壁通过进水管(10)与循环泵(6)的进水端连通。

2.根据权利要求1所述的一种靶材烧结用防蒸发溅射装置，其特征在于：所述导水管(8)位于水箱(9)的上方，所述进水管(10)位于水箱(9)的下方。

3.根据权利要求1所述的一种靶材烧结用防蒸发溅射装置，其特征在于：所述冷凝管(4)呈螺旋形设置，所述喷射管(2)的截面呈漏斗型。

4.根据权利要求2所述的一种靶材烧结用防蒸发溅射装置，其特征在于：所述循环泵(6)与水箱(9)均位于固定框(5)内，所述进水管(10)由橡胶制成。

5.根据权利要求4所述的一种靶材烧结用防蒸发溅射装置，其特征在于：所述水箱(9)上侧壁连通设置，所述转杆(12)贯穿固定框(5)上侧壁。

6.根据权利要求1所述的一种靶材烧结用防蒸发溅射装置，其特征在于：所述安装板(3)套设在管道(1)侧壁，所述安装板(3)的截面为矩形。