利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2021227232436
申请人: 上海仁晶测量技术有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-05-11
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种新型台式膜厚测试装置,包括机体(1)及设置在机体(1)上的底座(2),其特征在于:所述机体(1)上固定有安装框(3),所述安装框(3)上通过升降机构连接有安装板(5),所述安装板(5)上安装有磁头(6),所述机体(1)及底座(2)上设置有便于膜厚测试的固定机构;

所述固定机构包括开设在机体(1)上的安装槽(701),所述安装槽(701)上安装有放置板(702),所述放置板(702)上贯穿开设有多个气孔(703),所述底座(2)上设置有操作腔(704),所述操作腔(704)与安装槽(701)相通设置,所述操作腔(704)上安装有固定板(705),所述固定板(705)上设置有用于操作腔(704)内部抽气的抽气组件,所述机体(1)上设置有用于抽气组件驱动的驱动机构。

2.根据权利要求1所述的一种新型台式膜厚测试装置,其特征在于:所述升降机构包括传动板(401),所述传动板(401)通过滑动组件滑动连接在安装框(3)的内部,所述传动板(401)上安装有连接板(402),所述连接板(402)与安装板(5)相固定,所述安装框(3)的内部转动连接有丝杆(403),所述传动板(401)与丝杆(403)螺纹啮合连接,所述安装框(3)上安装有驱动电机(404),所述驱动电机(404)的输出端贯穿安装框(3)并与丝杆(403)的一端相固定。

3.根据权利要求2所述的一种新型台式膜厚测试装置,其特征在于:所述滑动组件包括开设在安装框(3)内部的滑动槽(405),所述滑动槽(405)的内部滑动连接有与其相匹配的滑动块,所述滑动块与传动板(401)相固定。

4.根据权利要求1所述的一种新型台式膜厚测试装置,其特征在于:所述抽气组件包括转动连接在固定板(705)上的转动杆(801),所述转动杆(801)的一端固定有圆板(802),所述圆板(802)上安装有扇叶(803),所述固定板(705)上开设有多个通气槽(804)。

5.根据权利要求1所述的一种新型台式膜厚测试装置,其特征在于:所述抽气组件设置有多个,各个所述抽气组件排列设置在固定板(705)上,各个所述抽气组件之间通过连接组件连接。

6.根据权利要求5所述的一种新型台式膜厚测试装置,其特征在于:所述连接组件包括固定在各个转动杆(801)上的皮带轮(901),各个所述皮带轮(901)之间通过皮带(902)传动。

7.根据权利要求2或4所述的一种新型台式膜厚测试装置,其特征在于:所述驱动机构包括安装在传动板(401)上的齿条(1001),所述齿条(1001)贯穿机体(1)设置,所述底座(2)上转动连接有转轴(1003),所述转轴(1003)的一端固定有齿轮(1002),所述齿轮(1002)与齿条(1001)之间相互啮合设置,所述转轴(1003)的另一端位于操作腔(704)的内部且通过传动组件与转动杆(801)相连接。

8.根据权利要求7所述的一种新型台式膜厚测试装置,其特征在于:所述传动组件包括固定在转轴(1003)一端的蜗杆(1101),所述转动杆(801)的一端固定有蜗轮(1102),所述蜗轮(1102)与蜗杆(1101)之间相互啮合设置。