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专利号: 2021226702218
申请人: 沈阳正恒科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种具有斜切式观察窗的真空镀膜仪,包括真空镀膜仪主体(1),所述真空镀膜仪主体(1)两侧分别倾斜设有样品观察窗(2)和源材料观察窗(3),其特征在于:所述真空镀膜仪主体(1)内部两侧均设有沿竖直方向轴向位移的圆筒辊(4),所述圆筒辊(4)外表面圆周固定设有清理布,所述清理布外表面与样品观察窗(2)和源材料观察窗(3)处于真空镀膜仪主体(1)内部的窗口接触。

2.根据权利要求1所述的一种具有斜切式观察窗的真空镀膜仪,其特征在于:所述真空镀膜仪主体(1)内壁两侧上方均固定安装两个横板(5),所述横板(5)底面中心位置固定安装第一电动伸缩杆(6),所述第一电动伸缩杆(6)一端固定连接竖杆(7),所述竖杆(7)一端中心位置固定安装连接块(8),所述连接块(8)之间转动连接圆筒辊(4)。

3.根据权利要求2所述的一种具有斜切式观察窗的真空镀膜仪,其特征在于:两个所述连接块(8)相互靠近一侧中心位置均固定安装第二电动伸缩杆(9)一端固定连接横杆(10),两个所述横杆(10)相互靠近一侧均转动连接转轴(11),所述圆筒辊(4)两侧中心位置均开设有和转轴(11)大小适配的凹槽(12)。

4.根据权利要求1所述的一种具有斜切式观察窗的真空镀膜仪,其特征在于:所述真空镀膜仪主体(1)一侧铰接有盖板(13),所述盖板(13)外表面远离铰接处一侧设有把手(14)。

5.根据权利要求1所述的一种具有斜切式观察窗的真空镀膜仪,其特征在于:所述真空镀膜仪主体(1)底面四角均固定安装底柱(15),所述底柱(15)底面固定安装减震垫(16)。

6.根据权利要求1所述的一种具有斜切式观察窗的真空镀膜仪,其特征在于:所述样品观察窗(2)和源材料观察窗(3)的材质均为石英玻璃,所述样品观察窗(2)和源材料观察窗(3)的观察口上均设置有防尘盖(17)。

7.根据权利要求1所述的一种具有斜切式观察窗的真空镀膜仪,其特征在于:所述圆筒辊(4)和清理布的长度均大于样品观察窗(2)和源材料观察窗(3)的观察口长度大小。