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专利号: 202122541901X
申请人: 鑫晟智能装备(苏州)有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-03-02
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,包括:放置台,所述放置台的上端设有激光安装座板(23),所述激光安装座板(23)的上端设有输送线支撑板(4),所述输送线支撑板(4)的上端设有料盒(3)和皮带(5),所述料盒(3)的上端设有硅片(1);

上料升降气缸(7),所述上料升降气缸(7)设置于激光安装座板(23)的下端,所述激光安装座板(23)的下端设置有载台感应(26),所述放置台的上端设有升降板(20),所述升降板(20)的上端设有料盒到位检知(17)和步进丝杠电机(21),所述放置台的下端设有输送线传输电机(27),所述输送线传输电机(27)和皮带(5)连接,所述输送线支撑板(4)的上端设有到料检测对射(16);以及

气缸支撑板(10),所述气缸支撑板(10)设于激光安装座板(23)的一端,所述气缸支撑板(10)的一端设有横移模组(9),所述横移模组(9)的一端设有上料吸盘(8),所述横移模组(9)的上端设有切割载台(12),所述激光安装座板(23)的一端设有激光横移模组(22)和激光模块(25),所述放置台的上端设有切割模组(14)。

2.根据权利要求1所述的无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,所述横移模组(9)的一端设有带导杆气缸(11),所述激光安装座板(23)的一端设有下料吸盘(13),所述横移模组(9)的下端设有收料盒(6)。

3.根据权利要求2所述的无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,所述激光安装座板(23)的一端设有倒料槽(15),所述升降板(20)的上端设有定位阻挡气缸1(18)和定位阻挡气缸2(19)。

4.根据权利要求3所述的无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,所述激光安装座板(23)的一端设有显示屏(24)。

5.根据权利要求4所述的无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,所述料盒(3)的上端设有多个限位立柱竖板(2)。

6.根据权利要求5所述的无损切割晶体硅片的专用装备,其特征在于,所述放置台的下端四角处均设有万向轮。