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专利号: 2021224803303
申请人: 昆山泓电隆泰电子材料有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-09-30
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:包括底板(1),所述底板(1)的顶端安装有蒸镀箱(2),且所述蒸镀箱(2)一侧的外壁上安装有真空泵(3),所述蒸镀箱(2)一侧的外壁上安装有气泵(5),且所述气泵(5)的输出端安装有主气管(501),所述底板(1)顶端的一侧安装有控制箱(11),所述蒸镀箱(2)的底部安装有蒸发源(9),所述蒸镀箱(2)的内壁上滑动安装有挡板(10),所述蒸镀箱(2)的顶部安装有加热器(14),所述蒸镀箱(2)一侧的内壁上安装有基板(13),所述蒸镀箱(2)的两内侧壁上皆安装有膜厚计(12),所述蒸镀箱(2)一侧的内壁上固定有固定板(6),且所述固定板(6)设置有两组,固定板(6)的表面开设有张紧结构(16),所述固定板(6)的两侧外壁上皆固定有支板(7),所述蒸镀箱(2)一侧的外壁上安装有控制面板(4),控制面板(4)内部单片机的输出端分别与真空泵(3)和气泵(5)的输入端电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述蒸镀箱(2)的顶端固定有副气管(15),副气管(15)与主气管(501)的一端相互连接,所述副气管(15)的两端皆安装有连通管(20)。

3.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述蒸镀箱(2)顶部的两侧皆固定有固定套(17),且所述固定套(17)的内部安装有导通管(18),所述导通管(18)的两端皆安装有U型管(19),U型管(19)与连通管(20)相互连接。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述支板(7)表面的两侧皆转动安装有主张紧辊(8),且所述主张紧辊(8)共设有八组,所述蒸镀箱(2)一侧的外壁上安装有电机(601),电机(601)的输出端与其中一组主张紧辊(8)的一端相互连接。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述张紧结构(16)的内部包括固定座(1601),所述固定座(1601)的背面与固定板(6)的表面固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述固定座(1601)的底端活动安装有电动推杆(1602),所述固定板(6)的底端固定有连接板(1603)。

7.根据权利要求6所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述连接板(1603)的表面滑动安装有滑动座(1604),且所述滑动座(1604)的表面转动安装有副张紧辊(1605)。

8.根据权利要求7所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述滑动座(1604)的顶端与电动推杆(1602)的活塞杆底端活动连接。

9.根据权利要求3所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备,其特征在于:所述导通管(18)的底端安装有等间距的分流管(21),且所述分流管(21)的底端安装有蒸镀喷头(22)。