1.半导体行业氦气回收再利用有毒有害气体的去除装置,包括安装架(1),其特征在于,所述安装架(1)顶部外壁设置有预警机构(2),且预警机构(2)包括焊接于安装架(1)顶部外壁上的安装板(21)、通过螺栓固定连接于安装板(21)一侧外壁上的有毒气体传感器(22)、连接于有毒气体传感器(22)底部外壁上的探针(23)、设置于有毒气体传感器(22)一侧的警报器(24);
所述安装架(1)内部设置有过滤机构(3),且过滤机构(3)包括设置于安装架(1)内部的过滤箱(31)、安装于过滤箱(31)一侧内壁上的风机(32)、开设于过滤箱(31)一边外壁上的对称分布的安装槽(33)、设置于安装槽(33)内壁上的活性炭滤芯(34)。
2.根据权利要求1所述的半导体行业氦气回收再利用有毒有害气体的去除装置,其特征在于,所述过滤箱(31)一边外壁铰接有安装门(4),且安装门(4)一侧外壁安装有把手(5)。
3.根据权利要求1所述的半导体行业氦气回收再利用有毒有害气体的去除装置,其特征在于,所述过滤箱(31)另一侧外壁连接有净化器(6),且净化器(6)顶部外壁连接有排气管(7)。
4.根据权利要求3所述的半导体行业氦气回收再利用有毒有害气体的去除装置,其特征在于,所述净化器(6)一侧外壁连接有输送管(8),且输送管(8)远离净化器(6)的一端连接有氦气收集罐(9),输送管(8)外壁安装有阀门(10)。
5.根据权利要求1所述的半导体行业氦气回收再利用有毒有害气体的去除装置,其特征在于,所述安装架(1)内壁焊接有隔板(11),且过滤箱(31)和净化器(6)放置在隔板(11)的顶部外壁上。
6.根据权利要求1所述的半导体行业氦气回收再利用有毒有害气体的去除装置,其特征在于,所述风机(32)和净化器(6)均通过导线连接有开关,且开关通过导线连接有蓄电池(12)。