1.一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置,包括底座(1)、压力板(2)和顶座(11),其特征在于,所述底座(1)和顶座(11)之间焊接有支撑柱(13);
所述压力板(2)的上表面四个拐角处嵌设安装有圆形滑轨(16),所述圆形滑轨(16)的内表壁滑动连接有滚珠(15),所述压力板(2)通过圆形滑轨(16)和支撑柱(13)滑动连接,所述压力板(2)的上表面中心处焊接有立柱(8),所述压力板(2)的下表面开设有四个条形槽(6),四个所述条形槽(6)呈十字形分别分布在压力板(2)上,所述条形槽(6)内转动连接有丝杆(7),所述丝杆(7)上螺纹连接有丝杆螺母(5),所述丝杆螺母(5)的顶端焊接有L型架(4),所述L型架(4)的水平方向一端焊接有万向球(3)。
2.根据权利要求1所述的一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置,其特征在于,所述滚珠(15)共设置有若干个,若干个所述滚珠(15)呈环形分布在圆形滑轨(16)内,且相邻的两个滚珠(15)之间的间距相等。
3.根据权利要求1所述的一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置,其特征在于,所述支撑柱(13)共设置有四个,四个所述支撑柱(13)呈矩形阵列分别分布在底座(1)的四个拐角处,且四个支撑柱(13)和四个圆形滑轨(16)相适配。
4.根据权利要求1所述的一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置,其特征在于,所述顶座(11)的上表面中心处螺纹连接有贯穿顶座(11)并延伸至其下方的螺纹杆(10),所述螺纹杆(10)的底端螺纹连接有压力传感器(9)。
5.根据权利要求4所述的一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置,其特征在于,所述压力传感器(9)和立柱(8)处于同一竖直线上。
6.根据权利要求1所述的一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置,其特征在于,所述顶座(11)的下表面螺栓固定有位于支撑柱(13)一侧的激光位移传感器(12)。
7.根据权利要求1所述的一种用于测量超精密机床气浮垫刚度的装置,其特征在于,所述压力板(2)的上表面还设置有配重盘(14)。