1.一种实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，其特征在于，包括高压供气模块、空气吹扫模块；

所述高压供气模块包括至少一个第一工艺气体供气管(13)、第二工艺气体供气管(14)和第三工艺气体供气管(15)，多个所述第一工艺气体供气管(13)并联接入所述第二工艺气体供气管(14)，所述第二工艺气体供气管(14)和第三工艺气体供气管(15)顺序连通，所述第一工艺气体供气管(13)自由端通过金属软管(2)与高压钢瓶(1)连通，所述第三工艺气体供气管(15)自由端为工艺气体供气口(10)；

所述空气吹扫模块包括至少一个第一吹扫管(12)和第二吹扫管(19)，多个所述第一吹扫管(12)并联、一端与所述第二工艺气体供气管(14)连通、另一端连通所述第二吹扫管(19)，所述第二吹扫管(19)自由端为放空口(11)。

2.根据权利要求1所述的实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，其特征在于，所述第一工艺气体供气管(13)上依次安装有初效过滤器(3)、止回阀(4)，所述初效过滤器(3)尘埃粒子过滤效率≥90％。

3.根据权利要求1所述的实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，其特征在于，所述第二工艺气体供气管(14)上依次安装有第一隔膜阀(16)、压力传感器(7)、调压阀(6)。

4.根据权利要求1所述的实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，其特征在于，所述第三工艺气体供气管(15)依次安装有压力表(8)、高效过滤器(5)、第二隔膜阀(17)，所述高效过滤器(5)尘埃粒子过滤效率≥99.995％。

5.根据权利要求1所述的实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，其特征在于，所述第一吹扫管(12)安装有第三隔膜阀(18)。

6.根据权利要求1～5任一项所述的实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，其特征在于，所述系统还包括气体泄漏报警器(9)。

7.根据权利要求1～5任一项所述的实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，其特征在于，所述系统内所有连接方式采用卡套接头连接，接头材质BA级SUS316L不锈钢。

8.根据权利要求1～5任一项所述的实验室气路半自动汇流排清洁供气系统，其特征在于，所述系统内管道和阀门材质均采用BA级SUS316L不锈钢材质，内表面光洁度Ra≤0.4μm。