1.机械式气体质量流量控制器,其特征在于:包括控制器本体(1)、支撑箱(2)、第一齿轮(3)、第二齿轮(4)、第一齿板(5)、第二齿板(6)和滚轮(8);
所述支撑箱(2)位于控制器本体(1)下端,所述第一齿轮(3)位于所述支撑箱(2)内,所述第一齿轮(3)一侧为第二齿轮(4),所述第一齿轮(3)和第二齿轮(4)相啮合,所述第一齿轮(3)远离第二齿轮(4)的一端设有第一齿板(5),所述第一齿轮(3)与第一齿板(5)相啮合,所述第二齿轮(4)远离第一齿轮(3)的一端设有第二齿板(6),所述第二齿轮(4)与第二齿板(6)相啮合,所述第一齿板(5)和第二齿板(6)下端通过底板(7)相连,所述底板(7)下端环绕对称设有多个滚轮(8)。
2.根据权利要求1所述的机械式气体质量流量控制器,其特征在于:所述第一齿板(5)和第二齿板(6)相互远离的一端对称设有移动板(9),对称设置的所述移动板(9)相互远离的一端分别设有滑块(10),所述支撑箱(2)靠近滑块(10)的一端分别设有滑轨(2a),所述滑轨(2a)贯穿支撑箱(2)下端,所述滑块(10)滑动安装在滑轨(2a)内。
3.根据权利要求2所述的机械式气体质量流量控制器,其特征在于:所述滑块(10)外径与滑轨(2a)内径相等。
4.根据权利要求1所述的机械式气体质量流量控制器,其特征在于:所述底板(7)与滚轮(8)之间设有U形安装座(11),所述U形安装座(11)内壁滑动安装安装板(12),所述安装板(12)上端通过弹簧(13)与U形安装座(11)内壁相连,所述安装板(12)下端与滚轮(8)相连。
5.根据权利要求4所述的机械式气体质量流量控制器,其特征在于:所述底板(7)外径与支撑箱(2)内径相等。
6.根据权利要求1所述的机械式气体质量流量控制器,其特征在于:所述支撑箱(2)侧壁贯穿设有摇杆把手(14),所述摇杆把手(14)通过连接杆(15)与第一齿轮(3)相连。
7.根据权利要求6所述的机械式气体质量流量控制器,其特征在于:所述支撑箱(2)下端设有支脚(16)。