1.一种磁控溅射箱体（1）的冷却装置，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）上设置有冷却组件（2），所述冷却组件（2）包括电机支架（201），安装在电机支架（201）上的电机（202），与电机（202）连接的转动轴（203），固定安装在转动轴（203）一端的扇叶（204），所述箱体（1）上还安装有提升组件（3） ，所述电机支架（201）固定安装在提升组件（3） 上。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射箱体（1）的冷却装置，其特征在于：所述提升组件（3） 包括固定安装在箱体（1）上的气缸支架（301），固定安装在气缸支架（301）上的气缸（302），与气缸（302）连接的提升板（303），以及固定安装在箱体（1）上与提升板（303）相适配的导向板（304），所述电机支架（201）固定安装在提升板（303）上，所述转动轴（203）贯穿提升板（303）。

3.根据权利要求2所述的一种磁控溅射箱体（1）的冷却装置，其特征在于：所述提升板（303）两端设置有导向块（3031），所述导向板（304）上设置有与导向块（3031）相适配的导向槽（3041）。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射箱体（1）的冷却装置，其特征在于：所述箱体（1）上还安装有与转动轴（203）相适配的轴承（4）。