1.一种半导体无尘室的隔振基座，包括基座箱体（1），其特征在于：所述基座箱体（1）顶端中部等距开设有分隔槽（2），所述基座箱体（1）顶端四边角处均开设有固定螺槽（3），所述分隔槽（2）内部等距安装有十字型支撑板（4），所述十字型支撑板（4）顶端中部焊接有支撑柱（5），所述支撑柱（5）两侧顶部均开设有限位卡槽（6），所述基座箱体（1）上方安装有基座顶板（7），所述基座顶板（7）顶端四边角处均开设有固定卡槽（8），所述固定卡槽（8）内壁底端中部开设有固定卡孔（9），所述固定卡孔（9）内部安装有固定螺杆（10），所述基座顶板（7）顶端中部等距开设有定位卡孔（11），所述定位卡孔（11）内壁两侧中部均开设有挤压槽（12），所述挤压槽（12）内部安装有限位卡块（13），所述限位卡块（13）一侧中部安装有限位弹簧（14），所述限位弹簧（14）一端连接有基座顶板（7）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室的隔振基座，其特征在于：所述固定螺槽（3）的内径和固定卡孔（9）的内径相同，所述固定螺杆（10）的直径和固定卡孔（9）的内径相同，所述固定螺杆（10）一端位于固定螺槽（3）内部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室的隔振基座，其特征在于：一个所述分隔槽（2）内部等距安装有三个所述十字型支撑板（4），三个所述十字型支撑板（4）之间通过支撑柱（5）焊接连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室的隔振基座，其特征在于：所述十字型支撑板（4）的横截面尺寸和定位卡孔（11）的横截面尺寸相同，所述十字型支撑板（4）顶端贯穿定位卡孔（11）。

5.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室的隔振基座，其特征在于：所述挤压槽（12）的纵截面尺寸和限位卡块（13）的纵截面尺寸相同，所述挤压槽（12）的深度大于限位卡块（13）的宽度。

6.根据权利要求1所述的一种半导体无尘室的隔振基座，其特征在于：所述限位卡槽（6）纵截面为弧形，所述限位卡块（13）纵截面一侧为弧形，所述限位卡块（13）与限位卡槽（6）之间相适配。