1.一种真空室，应用于半导体制程，其特征在于，所述真空室包括：框体(110)，所述框体(110)内具有真空腔，所述框体(110)的一侧开设有与所述真空腔连通的入口(111)；

门板(120)，滑动连接在所述入口(111)；

传动组件(140)，所述传动组件(140)的一端连接到所述门板(120)；

步进电机(150)，连接在所述传动组件(140)的另一端；

控制器(160)，与所述步进电机(150)电连接，所述控制器(160)用于控制所述步进电机(150)驱动所述门板(120)打开或关闭所述入口(111)。

2.根据权利要求1所述的真空室，其特征在于，所述传动组件(140)为涡轮蜗杆机构。

3.根据权利要求2所述的真空室，其特征在于，所述传动组件(140)包括：蜗杆(141)，所述蜗杆(141)的一端连接到所述门板(120)上，所述蜗杆(141)平行于所述门板(120)的滑动方向；

涡轮(142)，所述涡轮(142)的轴线垂直于所述蜗杆(141)的轴线，所述涡轮(142)与所述蜗杆(141)啮合，所述涡轮(142)套设在所述步进电机(150)的输出轴上。

4.根据权利要求1所述的真空室，其特征在于，所述传动组件(140)为齿条齿轮传动机构。

5.根据权利要求4所述的真空室，其特征在于，所述传动组件(140)包括：齿条(143)，所述齿条(143)的一端连接到所述门板(120)上，所述齿条(143)平行于所述门板(120)的滑动方向；

齿轮(144)，所述齿轮(144)的轴线垂直于所述齿条(143)的轴线，所述齿轮(144)与所述齿条(143)啮合，所述齿轮(144)套设在所述步进电机(150)的输出轴上。

6.根据权利要求1所述的真空室，其特征在于，所述真空室包括：密封缓冲条(130)，安装在所述入口(111)的边缘，在所述门板(120)关闭所述入口(111)的状态下，所述密封缓冲条(130)夹持在所述框体(110)与所述门板(120)之间。

7.根据权利要求6所述的真空室，其特征在于，所述门板(120)关闭所述入口(111)的方向为从下至上，所述密封缓冲条(130)安装在所述入口(111)的上边缘。

8.根据权利要求6所述的真空室，其特征在于，所述门板(120)关闭所述入口(111)的方向为从上至下，所述密封缓冲条(130)安装在所述入口(111)的下边缘。

9.根据权利要求1所述的真空室，其特征在于，所述入口(111)的边缘开设有凹槽，所述门板(120)滑动设置在所述凹槽内。

10.根据权利要求1所述的真空室，其特征在于，所述入口(111)和所述门板(120)均为矩形。