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专利号: 2021203035366
申请人: 中企众鑫(天津)工业设计有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-03-03
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备,其特征在于:包括密封舱(100),所述密封舱(100)内依次设有第一烧杯(140)、第二烧杯(150)、第三烧杯(160)和第四烧杯(170),所述密封舱(100)内设有运行控制系统(200)、环境控制系统(300)和视频监控系统(400),其中,所述运行控制系统(200)用于夹持和控制导电玻璃衬底的移动;所述环境控制系统(300)包括温湿度传感器(310)和与之控制连接的加热器(320)、加湿器(330),用于实时监测和控制密封舱(100)内的温度和湿度;所述视频监控系统(400)包括摄像头(410),用于沉积过程的可视化控制;

所述密封舱(100)外设有中央控制系统(600)和数据采集系统(500),所述数据采集系统(500)用于读取纳米薄膜的厚度、成分和SEM形貌,所述运行控制系统(200)、环境控制系统(300)、视频监控系统(400)和数据采集系统(500)均与中央控制系统(600)相连接,通过中央控制系统(600)控制沉积时间和沉积循环周期。

2.根据权利要求1所述的一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备,其特征在于:所述运行控制系统(200)包括支架(210),所述支架(210)上滑动设置有横梁(220),所述支架(210)上设有用于驱动横梁(220)沿Y轴往复移动的Y轴驱动装置(230);所述横梁(220)上滑动设置有滑座(240),所述横梁(220)上设有用于驱动滑座(240)沿X轴往复移动的X轴驱动装置(250);所述滑座(240)上升降设置有连杆(270),所述连杆(270)的底部可拆卸连接有夹持器(280)。

3.根据权利要求2所述的一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备,其特征在于:所述Y轴驱动装置(230)包括Y轴电机(231)和与之传动连接的Y轴丝杆(232),所述Y轴丝杆(232)贯穿设置于横梁(220)上且Y轴丝杆(232)的两端分别转动连接有Y轴支撑板(233),所述Y轴电机(231)和Y轴支撑板(233)均固设于支架(210)上。

4.根据权利要求3所述的一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备,其特征在于:所述横梁(220)的两端分别固设有滑块(234),所述滑块(234)上穿设有导向杆(235),所述导向杆(235)的两端分别固设有与支架(210)固定连接的限位板(236)。

5.根据权利要求4所述的一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备,其特征在于:所述X轴驱动装置(250)包括X轴电机(251)和与之传动连接的X轴丝杆(252),所述X轴丝杆(252)贯穿设置于滑座(240)上且X轴丝杆(252)的两端分别转动连接有X轴支撑板(253),所述X轴电机(251)和X轴支撑板(253)均固设于横梁(220)上端面;所述横梁(220)的上端面固设有导轨(254),所述滑座(240)的底部与导轨(254)滑动连接。

6.根据权利要求5所述的一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备,其特征在于:所述滑座(240)上固设有Z轴气缸(260),所述Z轴气缸(260)的活塞杆与连杆(270)固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备,其特征在于:所述X轴电机(251)控制连接有X轴电机控制器,所述Y轴电机(231)控制连接有Y轴电机控制器,所述Z轴气缸(260)控制连接有Z轴气缸控制器,所述X轴电机控制器、Y轴电机控制器和Z轴气缸控制器均与中央控制系统(600)相连接。

8.根据权利要求1所述的一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备,其特征在于:所述中央控制系统(600)为包括PLC触摸控制面板(610),所述密封舱(100)的顶部设置有楔形面,楔形面和水平面呈夹角设置,所述PLC触摸控制面板(610)设置于密封舱(100)的楔形面上。

9.根据权利要求1所述的一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备,其特征在于:所述密封舱(100)上设有气阀(130),所述密封舱(100)内设有真空计和压力计。

10.根据权利要求1所述的一种连续离子液相制备纳米薄膜的自动化设备,其特征在于:所述中央控制系统(600)通过物联网网关(700)通信连接有数据云平台(800)。