1.一种无二次污染的超纯水制备系统,其特征在于,包括纯水箱和EDI装置,所述纯水箱用于收集预处理除盐工艺的产水,所述纯水箱的出水口通过一供水泵与所述EDI装置的进水口连接,所述EDI装置还设有超纯水出口和浓水出口,所述超纯水出口通过一用水阀输送至外部超纯水用水点,且所述超纯水出水口与所述用水阀之间还增设一弹簧式安全阀,所述弹簧式安全阀通过一回流管连接至纯水箱的进水口。
2.如权利要求1所述的无二次污染的超纯水制备系统,其特征在于,所述EDI装置包括EDI膜堆、EDI电源、限位流量计,所述EDI电源用于为所述EDI膜堆供电,所述EDI膜堆用于将所述纯水箱内收集的产水制备为超纯水,所述限位流量计设置为两个,分别安装于所述EDI装置的超纯水出口和浓水出口。
3.如权利要求1所述的无二次污染的超纯水制备系统,其特征在于,所述回流管及超纯水制备系统中的管路均设置为CL‑PVC或PCDF材质的管路结构。
4.如权利要求1所述的无二次污染的超纯水制备系统,其特征在于,所述用水阀设置为限流阀。