1.一种管材溅镀设备,包括筒体(1)和控制器,筒体(1)内部转动连接有靶材(11),筒体(1)外侧的顶部固连有电机(12),筒体(1)内侧顶部转动连接有主动转盘(13),主动转盘(13)与电机(12)的输出轴固连,主动转盘(13)的底部转动连接有主动副转盘(14),主动副转盘(14)与电机(12)的输出轴通过齿轮传动连接,主动副转盘(14)的底部固连有夹具(15),筒体(1)内侧底部转动连接有从动转盘(2),从动转盘(2)顶部转动连接有从动副转盘(21);其特征在于:所述从动转盘(2)的顶部固连有气泵(22);所述从动转盘(2)的顶部中心固连有电动推杆(23),电动推杆(23)的顶部固连有滑动盘(3),滑动盘(3)上开设有通孔(31),通孔(31)与从动副转盘(21)一一对应,通孔(31)的内壁开设有气孔(32),气孔(32)通过管道与气泵(22)连通,管道上设置有过滤器(24);所述气泵(22)的另一端与筒体(1)的排气口连通;所述控制器用于调节管材溅镀设备的运行。
2.根据权利要求1所述的一种管材溅镀设备,其特征在于:所述从动副转盘(21)的顶部固连有气囊(25),气囊(25)通过管道与气泵(22)连通。
3.根据权利要求1所述的一种管材溅镀设备,其特征在于:所述滑动盘(3)的周向外侧固连有电动伸缩杆(33),电动伸缩杆(33)的另一端固连有刮板(4),刮板(4)与靶材(11)接触的一侧固连有砂纸(41),刮板(4)下方固连有集屑盒(42),集屑盒(42)的排废口与过滤器(24)连通,集屑盒(42)与靶材(11)卡合连接。
4.根据权利要求3所述的一种管材溅镀设备,其特征在于:所述刮板(4)在砂纸(41)的上方固连有无绒软布(43);所述滑动盘(3)的底部螺纹连接有酒精瓶(44),酒精瓶(44)内设有棉芯,棉芯的另一端与无绒软布(43)固连。
5.根据权利要求4所述的一种管材溅镀设备,其特征在于:所述刮板(4)在无绒软布(43)上方开设有气嘴(45),气嘴(45)通过管道与气泵(22)连通。
6.一种管材溅镀方法,其特征在于:该方法适用于权利要求1‑5中任一项所述的管材溅镀设备,该方法步骤如下:
S1、通过吊机将筒体(1)的顶盖吊起,顶盖移动到待加工的管材上方,再将夹具(15)对准管材内孔,对管材装夹固定,接着将筒体(1)的顶盖连通管材移动到筒体(1)内部,将管材放置到从动副转盘(21)上,控制器驱动气泵(22)对气孔(32)抽气,控制器控制气泵(22)首先向气囊(25)供气,气囊(25)充气后膨胀,气囊(25)与管材内壁贴合,进而对管材底部进行固定;
S2、在S1中管材被固定后,控制器控制电动推杆(23)伸缩,电动推杆(23)伸缩使得滑动盘(3)上下移动,滑动盘(3)上下时控制器驱动气泵(22)对气孔(32)抽气,气孔(32)处形成负压,吸取管材表面的脏污,脏污从气孔(32)吸到过滤器(24)中进行收集,控制器控制电动伸缩杆(33)伸长,此时砂纸(41)与靶材(11)接触,控制器驱动靶材(11)转动使得砂纸(41)对其进行打磨,集屑盒(42)中的废屑被吸入到过滤器(24)中进行收集,打磨完成后,控制器控制电动伸缩杆(33)收缩,此时无绒软布(43)复位蓬松,且与靶材(11)接触,砂纸(41)此时与靶材(11)不再接触,无绒软布(43)在复位蓬松的过程中通过棉芯吸取酒精,同时随着滑动盘(3)上下移动,对靶材(11)进行进一步擦拭,当筒体(1)内部的真空度达到设定值时,向筒体(1)内部泵入氩气;
S3、在S2中充入氩气后,控制器控制电机(12)转动,电机(12)驱动主动转盘(13)转动,从动转盘(2)随之转动,使得管材绕着筒体(1)中心公转,同时电机(12)驱动主动副转盘(14)转动,从动副转盘(21)随之转动,使得管材绕自身轴心自转,控制器控制靶材(11)转动,同时对管材进行溅镀;
S4、在S3中溅镀完成后,控制器控制气泵(22)将筒体(1)内的氩气泵(22)入到气嘴(45)处,通过氩气冲洗靶材(11),以除去可能在溅射系统中会造成起弧的杂质微粒,从而减少靶材(11)表面的杂质微粒,完成后取出管材。