1.一种基于探针接触式方孔径球面复眼透镜检测法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
步骤一:方孔径球面复眼透镜的放置及探针的调整;
步骤二:设置探针的量程及速度;
步骤三:采集、处理探针的轨迹信息,通过算法处理采集到的探针轨迹信息拟合出轨迹弧;
步骤四:轨迹弧的处理,对轨迹弧进行算法处理拟合出圆,并求出其半径值r及轨迹弧圆心到基面的距离H;
步骤五:参数计算,通过探针走过轨迹弧及单个复眼透镜结构之间的几何关系,求出轨迹弧到复眼透镜主光轴处的距离d,结合步骤三求出的轨迹弧所在圆的半径值r、轨迹弧圆心到基面的距离H,可以还原出以复眼透镜球面为球面的球的曲率半径R及矢高f。
2.根据权利要求1所述的一种基于探针接触式方孔径球面复眼透镜检测法,其特征在于:需要依据放置好的复眼透镜的具体位置对探针起始位置进行调整使得探针在一次对准后可以完全检测某行复眼透镜。
3.根据权利要求1所述的一种基于探针接触式方孔径球面复眼透镜检测法,其特征在于:在计算轨迹弧到主光轴处的距离d时需要依据轨迹弧及其所走过的复眼透镜间几何关系在二维xy平面上的投影图进行计算。
4.根据权利要求1所述的一种基于探针接触式方孔径球面复眼透镜检测法,其特征在于:在求球心到基面的距离H时需要对轨迹弧进行旋转变化使高端点与低端点在同一水平面上以消除计算误差。
5.根据权利要求1所述的一种基于探针接触式方孔径球面复眼透镜检测法,其特征在于:本方法是通过探针轨迹弧到主光轴的距离d、以轨迹弧拟合出圆的半径值r还原出以复眼透镜球面为球面的球的曲率半径R,矢高f。